[实用新型]一种近红外退火结晶设备

摘要

本实用新型涉及一种近红外退火结晶设备，包括：壳体，所述壳体设置有相应的退火仓；若干近红外灯管，所述若干近红外灯管阵列排布于所述退火仓的顶端；反射面罩，设置于所述退火仓的上端面和若干所述近红外灯管之间，所述反射面罩朝向所述近红外灯管的一面设置为镜面；退火台板，设置于所述退火仓的下端面。本实用新型通过在退火仓内设置近红外灯管，利用近红外灯管发生的近红外线照射放置于退火台板上的半导体湿膜，从而能够使半导体湿膜吸收近红外线中的能量并迅速升温从而蒸发半导体湿膜内的水分从而结晶，达到制膜的目的，并大大缩短了退火结晶所需的时间并保证退火结晶后半导体薄膜的质量。