[实用新型]一种近红外退火结晶设备

说明书

本实用新型涉及一种近红外退火结晶设备，包括：壳体，所述壳体设置有相应的退火仓；若干近红外灯管，所述若干近红外灯管阵列排布于所述退火仓的顶端；反射面罩，设置于所述退火仓的上端面和若干所述近红外灯管之间，所述反射面罩朝向所述近红外灯管的一面设置为镜面；退火台板，设置于所述退火仓的下端面。本实用新型通过在退火仓内设置近红外灯管，利用近红外灯管发生的近红外线照射放置于退火台板上的半导体湿膜，从而能够使半导体湿膜吸收近红外线中的能量并迅速升温从而蒸发半导体湿膜内的水分从而结晶，达到制膜的目的，并大大缩短了退火结晶所需的时间并保证退火结晶后半导体薄膜的质量。

技术领域

本实用新型涉及半导体薄膜制备退火结晶领域，具体指有一种近红外退火结晶设备。

背景技术

钙钛矿太阳能电池是近十年发展起来的新型光伏材料，具有光电转换效率高，成本低的优势。钙钛矿太阳能电池的核心组件是半导体薄膜——钙钛矿薄膜层。其中，钙钛矿薄膜的结晶度是影响器件性能的关键因素。

现今常用的钙钛矿薄膜退火工艺(热退火)，例如公开号为CN112467042A，名称为“一种钙钛矿太阳能电池组件智能自动化生产系统”的申请中公开了可以采用红外退火装置进行钙钛矿薄膜退火，但所需退火时间较长，且难以做到精确控制钙钛矿薄膜的结晶，导致退火时间较长，影响实验进程。

针对上述的现有技术存在的问题，设计一种近红外退火结晶设备是本实用新型研究的目的。

实用新型内容

针对上述现有技术存在的问题，本实用新型在于提供一种近红外退火结晶设备，能够有效解决上述现有技术存在的问题。

本实用新型的技术方案是：

一种近红外退火结晶设备，包括：

壳体，所述壳体设置有相应的退火仓；

若干近红外灯管，所述若干近红外灯管阵列排布于所述退火仓的顶端；

反射面罩，设置于所述退火仓的上端面和若干所述近红外灯管之间，所述反射面罩朝向所述近红外灯管的一面设置为镜面；

退火台板，设置于所述退火仓的下端面。

进一步地，所述近红外灯管的波长为800nm－1400nm。

进一步地，相邻的所述近红外灯管之间的间距为30mm－40mm，所述近红外灯管距离所述退火台板之间的距离为18mm－22mm。

进一步地，包含时间继电器，用于控制所述近红外灯管的点亮时间。

可选地，所述近红外灯管的数量为2根，每个所述近红外灯管的功率为100W，所述时间继电器的计时时间为180s。

可选地，所述近红外灯管的数量为3根，每个所述近红外灯管的功率为100W，所述时间继电器的计时时间为120s。

可选地，所述近红外灯管的数量为2根，每个所述近红外灯管的功率为1000W，所述时间继电器的计时时间为15s。

可选地，所述近红外灯管的数量为3根，每个所述近红外灯管的功率为1000W，所述时间继电器的计时时间为8s。

进一步地，还包括电源、散热风扇、显示仪表、开关、排气孔、温度传感器其中的一种或多种，所述电源设置于所述壳体内并为各部件提供电能，所述排气孔、所述显示仪表、所述开关设置于所述壳体的外表面，所述散热风扇设置于所述排气孔，所述温度传感器设置于所述退火仓。

进一步地，所述壳体设置有和所述退火仓相配合的舱盖。

本实用新型的优点：

本实用新型针对半导体薄膜的工艺处理需求，针对性地提出了近红外退火的设备。