[实用新型]一种近红外退火结晶设备

权利要求书

1.一种近红外退火结晶设备，其特征在于：包括：

壳体，所述壳体设置有相应的退火仓；

若干近红外灯管，所述若干近红外灯管阵列排布于所述退火仓的顶端；所述近红外灯管的波长为800nm－1400nm，相邻的所述近红外灯管之间的间距为30mm－40mm；

反射面罩，设置于所述退火仓的上端面和若干所述近红外灯管之间，所述反射面罩朝向所述近红外灯管的一面设置为镜面；

退火台板，设置于所述退火仓的下端面，所述近红外灯管距离所述退火台板之间的距离为18mm－22mm。

2.根据权利要求1所述的一种近红外退火结晶设备，其特征在于：包含时间继电器，用于控制所述近红外灯管的点亮时间。

3.根据权利要求2所述的一种近红外退火结晶设备，其特征在于：所述近红外灯管的数量为2根，每个所述近红外灯管的功率为100W，所述时间继电器的计时时间为180s。

4.根据权利要求2所述的一种近红外退火结晶设备，其特征在于：所述近红外灯管的数量为3根，每个所述近红外灯管的功率为100W，所述时间继电器的计时时间为120s。

5.根据权利要求2所述的一种近红外退火结晶设备，其特征在于：所述近红外灯管的数量为2根，每个所述近红外灯管的功率为1000W，所述时间继电器的计时时间为15s。

6.根据权利要求2所述的一种近红外退火结晶设备，其特征在于：所述近红外灯管的数量为3根，每个所述近红外灯管的功率为1000W，所述时间继电器的计时时间为8s。

7.根据权利要求1所述的一种近红外退火结晶设备，其特征在于：还包括电源、散热风扇、显示仪表、开关、排气孔、温度传感器其中的一种或多种，所述电源设置于所述壳体内并为各部件提供电能，所述排气孔、所述显示仪表、所述开关设置于所述壳体的外表面，所述散热风扇设置于所述排气孔，所述温度传感器设置于所述退火仓。

8.根据权利要求1所述的一种近红外退火结晶设备，其特征在于：所述壳体设置有和所述退火仓相配合的舱盖。