[实用新型]一种光刻版取料装置有效
| 申请号： | 202220851533.0 | 申请日： | 2022-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN217060756U | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 牟宏山;张新宇;肖钰 | 申请（专利权）人： | 无锡兴华衡辉科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/677 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 苗雨 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及芯片制造领域，具体为一种光刻版取料装置，包括底座、操作台、硅片和光刻机，还包括收料装置，所述操作台与底座的表面固定连接，所述硅片放置在操作台的表面，所述光刻机与底座的表面设置，所述收料装置设置在底座的表面，所述收料装置包括安装盒，所述安装盒与底座的表面固定连接，所述安装盒的内壁固定连接有转动电机，所述转动电机的驱动端固定连接有转轴，所述转轴的表面固定连接有转动杆，所述转动杆与操作台的上表面转动连接，所述转动杆远离转轴的一端固定连接有液压机。本实用新型，通过设置收料装置，便于将硅片进行快速取出，保证硅片放置稳定，对此有效地提升了设备生产的易用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 版取料 装置 | ||
【主权项】：
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