[实用新型]一种光刻版取料装置

权利要求书

1.一种光刻版取料装置，包括底座(1)、操作台(2)、硅片(3)和光刻机(4)，其特征在于：还包括收料装置(5)，所述操作台(2)与底座(1)的表面固定连接，所述硅片(3)放置在操作台(2)的表面，所述光刻机(4)与底座(1)的表面设置，所述收料装置(5)设置在底座(1)的表面，所述收料装置(5)包括安装盒(51)，所述安装盒(51)与底座(1)的表面固定连接，所述安装盒(51)的内壁固定连接有转动电机(52)，所述转动电机(52)的驱动端固定连接有转轴(53)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻版取料装置，其特征在于：所述转轴(53)的表面固定连接有转动杆(54)，所述转动杆(54)与操作台(2)的上表面转动连接，所述转动杆(54)远离转轴(53)的一端固定连接有液压机(55)。

3.根据权利要求2所述的一种光刻版取料装置，其特征在于：所述液压机(55)的驱动端传动连接有液压杆(56)，所述液压杆(56)的下表面固定连接有吸盘(57)，所述吸盘(57)与硅片(3)的表面吸附固定。

4.根据权利要求3所述的一种光刻版取料装置，其特征在于：所述操作台(2)的表面固定连接有阻杆(58)，所述转动杆(54)与阻杆(58)的表面相抵，所述阻杆(58)的内壁放置有放置盒(59)。

5.根据权利要求1所述的一种光刻版取料装置，其特征在于：所述底座(1)的表面设置有清理装置(6)，所述清理装置(6)包括安装板(61)，所述安装板(61)与底座(1)的表面固定连接，所述安装板(61)的表面固定连接有驱动电机(62)，所述驱动电机(62)的驱动端传动连接有主动轮(63)，所述主动轮(63)与安装板(61)的表面转动连接。

6.根据权利要求5所述的一种光刻版取料装置，其特征在于：所述主动轮(63)的表面传动连接有转带(64)，所述安装板(61)远离主动轮(63)的一端转动连接有从动轮(65)，所述转带(64)远离主动轮(63)的一端与从动轮(65)的表面传动连接。

7.根据权利要求6所述的一种光刻版取料装置，其特征在于：所述转带(64)的表面固定连接有横杆(66)，所述横杆(66)的表面固定连接有刮板(67)，所述刮板(67)与操作台(2)的表面滑动连接。