[实用新型]一种光刻版取料装置

说明书

本实用新型涉及芯片制造领域，具体为一种光刻版取料装置，包括底座、操作台、硅片和光刻机，还包括收料装置，所述操作台与底座的表面固定连接，所述硅片放置在操作台的表面，所述光刻机与底座的表面设置，所述收料装置设置在底座的表面，所述收料装置包括安装盒，所述安装盒与底座的表面固定连接，所述安装盒的内壁固定连接有转动电机，所述转动电机的驱动端固定连接有转轴，所述转轴的表面固定连接有转动杆，所述转动杆与操作台的上表面转动连接，所述转动杆远离转轴的一端固定连接有液压机。本实用新型，通过设置收料装置，便于将硅片进行快速取出，保证硅片放置稳定，对此有效地提升了设备生产的易用性。

技术领域

本实用新型涉及芯片制造领域，尤其涉及一种光刻版取料装置。

背景技术

光刻机又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，现有的设备在生产完成后需要人工手动收取硅片，导致硅片受到二次触碰，使其影响产品质量，对此需要进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在现有的设备在生产完成后需要人工手动收取硅片，导致硅片受到二次触碰，使其影响产品质量的缺点，而提出的一种光刻版取料装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种光刻版取料装置，包括底座、操作台、硅片和光刻机，还包括收料装置，所述操作台与底座的表面固定连接，所述硅片放置在操作台的表面，所述光刻机与底座的表面设置，所述收料装置设置在底座的表面，所述收料装置包括安装盒，所述安装盒与底座的表面固定连接，所述安装盒的内壁固定连接有转动电机，所述转动电机的驱动端固定连接有转轴。

优选的，所述转轴的表面固定连接有转动杆，所述转动杆与操作台的上表面转动连接，所述转动杆远离转轴的一端固定连接有液压机。

优选的，所述液压机的驱动端传动连接有液压杆，所述液压杆的下表面固定连接有吸盘，所述吸盘与硅片的表面吸附固定。

优选的，所述操作台的表面固定连接有阻杆，所述转动杆与阻杆的表面相抵，所述阻杆的内壁放置有放置盒。

优选的，所述底座的表面设置有清理装置，所述清理装置包括安装板，所述安装板与底座的表面固定连接，所述安装板的表面固定连接有驱动电机，所述驱动电机的驱动端传动连接有主动轮，所述主动轮与安装板的表面转动连接。

优选的，所述主动轮的表面传动连接有转带，所述安装板远离主动轮的一端转动连接有从动轮，所述转带远离主动轮的一端与从动轮的表面传动连接。

优选的，所述转带的表面固定连接有横杆，所述横杆的表面固定连接有刮板，所述刮板与操作台的表面滑动连接。

与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于：

1.本实用新型中，通过设置收料装置，将放置后与阻杆相抵放置，随即打开转动电机，转轴同时受力旋转，转动杆相继受力带动液压机旋转至操作台表面，随即转动电机相继停止后打开液压机，液压杆相继受力伸缩后推动吸盘与硅片表面进行吸附，随即将硅片从操作台表面取出，同时打开转动电机，转动杆相继受力旋转，当转动杆与阻杆相抵时，打开液压机，液压杆相继受力将硅片放置进放置盒内，通过设置收料装置，便于将硅片进行快速取出，保证硅片放置稳定，对此有效地提升了设备生产的易用性。

2.本实用新型中，通过设置清理装置，打开驱动电机，主动轮相继受力旋转，主动轮同时受力带动转带旋转，转带相继受力拉动从动轮转动，转带旋转时相继受力带动横杆旋转，刮板相继受力与操作台的表面滑动连接，通过设置清理装置，便于对操作台表面进行快速清洁，保证设备的使用稳定，对此有效地提升了设备的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型提出一种光刻版取料装置的立体结构示意图；