[实用新型]一种用于晶圆刻蚀机的防震脚有效
| 申请号： | 202220662381.X | 申请日： | 2022-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN217003702U | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 马跃;高向东;张厚根 | 申请（专利权）人： | 大连地拓重工有限公司 |
| 主分类号： | F16M7/00 | 分类号： | F16M7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116000 辽宁省大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，包括挡板、横板、竖板和底座，所述挡板、横板、竖板和底座由一块不锈钢板弯折而成的整体结构，所述横板与挡板垂直，所述竖板与横板垂直，所述底座与竖板垂直，所述挡板与横板之间焊接有第一加强筋，所述横板与竖板之间焊接有第二加强筋，所述竖板与底座之间焊接有第三加强筋，所述挡板上第一加强筋两侧分别开设有第一安装孔，所述底座上第二加强筋两侧分别开设有第二安装孔。本实用新型通过一块不锈钢板折弯成型，结构简单，加工方便，并通过设计三块加强筋有效提高了防震脚的强度，提高了防震脚整体的抗折强度，避免防震脚出现折弯等问题，大大提高了防震脚的防震能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 刻蚀 防震 | ||
【主权项】：
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