[实用新型]一种用于晶圆刻蚀机的防震脚

说明书

本实用新型提供了一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，包括挡板、横板、竖板和底座，所述挡板、横板、竖板和底座由一块不锈钢板弯折而成的整体结构，所述横板与挡板垂直，所述竖板与横板垂直，所述底座与竖板垂直，所述挡板与横板之间焊接有第一加强筋，所述横板与竖板之间焊接有第二加强筋，所述竖板与底座之间焊接有第三加强筋，所述挡板上第一加强筋两侧分别开设有第一安装孔，所述底座上第二加强筋两侧分别开设有第二安装孔。本实用新型通过一块不锈钢板折弯成型，结构简单，加工方便，并通过设计三块加强筋有效提高了防震脚的强度，提高了防震脚整体的抗折强度，避免防震脚出现折弯等问题，大大提高了防震脚的防震能力。

技术领域

本实用新型涉及洁净室搬运吊装技术领域，具体是一种用于晶圆刻蚀机的防震脚。

背景技术

半导体制造一般对环境要求都比较高，特别是对地震引起的振动；由于地震的震动会对设备产生水平方向和垂直方向的加速度；由于设备一般情况下是直接安装在地板上，没有对设备的脚进行相应的固定措施，所以当发生地震时，设备会在水平方向和垂直方向受到地震加速度，从而使设备产生水平方向以及垂直方向的移动，从而会损坏设备以及导致设备生产出来的产品的质量受到影响。

而半导体制造用的晶圆刻蚀机经常会产生液体渗漏问题，因此常采用在地板上方加设承漏盘的方法进行收集漏液。由于承漏盘的存在，传统的Z型、直角型防震脚无法进行安装，需要设计独特的防震脚避开承漏盘实现与设备和地板的连接防震。

实用新型内容

实用新型的目的在于提供一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，以解决上述背景技术中存在的问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，包括挡板、横板、竖板和底座，所述挡板、横板、竖板和底座由一块不锈钢板弯折而成的整体结构，所述横板与挡板垂直，所述竖板与横板垂直，所述底座与竖板垂直，所述挡板与横板之间焊接有第一加强筋，所述横板与竖板之间焊接有第二加强筋，所述竖板与底座之间焊接有第三加强筋，所述挡板上第一加强筋两侧分别开设有第一安装孔，所述底座上第二加强筋两侧分别开设有第二安装孔。

进一步地，所述第一加强筋、第二加强筋、第三加强筋均由不锈钢板制成直角三角形结构。

进一步地，所述第一加强筋的两个直角边分别与挡板、横板垂直焊接。

进一步地，所述第二加强筋的两个直角边分别与横板、竖板垂直焊接。

进一步地，所述第三加强筋的两个直角边分别与竖板、底座垂直焊接。

进一步地，所述第一安装孔、第二安装孔均为椭圆形通孔。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过一块不锈钢板折弯成型，结构简单，加工方便，并通过设计三块加强筋有效提高了防震脚的强度，提高了防震脚整体的抗折强度，避免防震脚出现折弯等问题，大大提高了防震脚的防震能力。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型使用时安装结构示意图。

图中1-挡板，2-横板，3-竖板，4-底座，5-第一加强筋，6-第二加强筋，7-第三加强筋，8-第一安装孔，9-第二安装孔，10-刻蚀机，11-承漏盘，12-高架地板，13-第一螺栓，14-第二螺栓。

具体实施方式

下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。