[实用新型]一种用于晶圆刻蚀机的防震脚有效
| 申请号： | 202220662381.X | 申请日： | 2022-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN217003702U | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 马跃;高向东;张厚根 | 申请（专利权）人： | 大连地拓重工有限公司 |
| 主分类号： | F16M7/00 | 分类号： | F16M7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116000 辽宁省大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 刻蚀 防震 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，包括挡板、横板、竖板和底座，其特征在于，所述挡板、横板、竖板和底座由一块不锈钢板弯折而成的整体结构，所述横板与挡板垂直，所述竖板与横板垂直，所述底座与竖板垂直，所述挡板与横板之间焊接有第一加强筋，所述横板与竖板之间焊接有第二加强筋，所述竖板与底座之间焊接有第三加强筋，所述挡板上第一加强筋两侧分别开设有第一安装孔，所述底座上第二加强筋两侧分别开设有第二安装孔。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，其特征在于，所述第一加强筋、第二加强筋、第三加强筋均由不锈钢板制成直角三角形结构。
3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，其特征在于，所述第一加强筋的两个直角边分别与挡板、横板垂直焊接。
4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，其特征在于，所述第二加强筋的两个直角边分别与横板、竖板垂直焊接。
5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，其特征在于，所述第三加强筋的两个直角边分别与竖板、底座垂直焊接。
6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，其特征在于，所述第一安装孔、第二安装孔均为椭圆形通孔。
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