[实用新型]光刻胶喷涂用供液装置及超声波喷头组件有效
申请号: | 202220656913.9 | 申请日: | 2022-03-25 |
公开(公告)号: | CN217017163U | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | 张曹 | 申请(专利权)人: | 常州井芯半导体设备有限公司 |
主分类号: | B05B17/06 | 分类号: | B05B17/06;B05B12/00;B05B15/55 |
代理公司: | 常州市天龙专利事务所有限公司 32105 | 代理人: | 于雅洁 |
地址: | 213000 江苏省常州市武进区常武中路18*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请提供一种光刻胶喷涂用供液装置及超声波喷头组件,涉及芯片加工技术领域。光刻胶喷涂用供液装置包括第一注射泵、第二注射泵、第一控制阀和第二控制阀。第一注射泵用于泵送光刻胶,第一注射泵通过管道与第一控制阀、第二控制阀依次连接。第二注射泵用于泵送清洗液,第二注射泵通过管道与第一控制阀、第二控制阀依次连接。第一控制阀用于控制第一注射泵或者第二注射泵与第二控制阀的通断,第二控制阀用于控制与超声喷头的通断。光刻胶喷涂用供液装置使得超声波喷头组件的超声喷头能够根据实际情况进行光刻胶喷涂或者进行自身的冲洗清洁,满足生产需求。 | ||
搜索关键词: | 光刻 喷涂 用供液 装置 超声波 喷头 组件 | ||
【主权项】:
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