[实用新型]光刻胶喷涂用供液装置及超声波喷头组件有效

专利信息
申请号: 202220656913.9 申请日: 2022-03-25
公开(公告)号: CN217017163U 公开(公告)日: 2022-07-22
发明(设计)人: 张曹 申请(专利权)人: 常州井芯半导体设备有限公司
主分类号: B05B17/06 分类号: B05B17/06;B05B12/00;B05B15/55
代理公司: 常州市天龙专利事务所有限公司 32105 代理人: 于雅洁
地址: 213000 江苏省常州市武进区常武中路18*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本申请提供一种光刻胶喷涂用供液装置及超声波喷头组件,涉及芯片加工技术领域。光刻胶喷涂用供液装置包括第一注射泵、第二注射泵、第一控制阀和第二控制阀。第一注射泵用于泵送光刻胶,第一注射泵通过管道与第一控制阀、第二控制阀依次连接。第二注射泵用于泵送清洗液,第二注射泵通过管道与第一控制阀、第二控制阀依次连接。第一控制阀用于控制第一注射泵或者第二注射泵与第二控制阀的通断,第二控制阀用于控制与超声喷头的通断。光刻胶喷涂用供液装置使得超声波喷头组件的超声喷头能够根据实际情况进行光刻胶喷涂或者进行自身的冲洗清洁,满足生产需求。
搜索关键词: 光刻 喷涂 用供液 装置 超声波 喷头 组件
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州井芯半导体设备有限公司,未经常州井芯半导体设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202220656913.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top