[实用新型]光刻胶喷涂用供液装置及超声波喷头组件有效
| 申请号： | 202220656913.9 | 申请日： | 2022-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN217017163U | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 张曹 | 申请（专利权）人： | 常州井芯半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B05B17/06 | 分类号： | B05B17/06;B05B12/00;B05B15/55 |
| 代理公司： | 常州市天龙专利事务所有限公司 32105 | 代理人： | 于雅洁 |
| 地址： | 213000 江苏省常州市武进区常武中路18*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 喷涂 用供液 装置 超声波 喷头 组件 | ||
1.一种光刻胶喷涂用供液装置，其特征在于，包括：第一注射泵、第二注射泵、第一控制阀和第二控制阀；
所述第一注射泵用于泵送光刻胶，所述第一注射泵通过管道与所述第一控制阀、所述第二控制阀依次连接；
所述第二注射泵用于泵送清洗液，所述第二注射泵通过管道与所述第一控制阀、所述第二控制阀依次连接；
所述第一控制阀用于控制所述第一注射泵或者所述第二注射泵与所述第二控制阀的通断，所述第二控制阀用于控制与超声喷头的通断。
2.根据权利要求1所述的光刻胶喷涂用供液装置，其特征在于，所述光刻胶喷涂用供液装置包括光刻胶罐和第三控制阀，所述第三控制阀用于控制所述光刻胶罐与所述第一注射泵连通或者断开。
3.根据权利要求1所述的光刻胶喷涂用供液装置，其特征在于，所述光刻胶喷涂用供液装置包括清洗液罐和第四控制阀，所述第四控制阀用于控制所述清洗液罐与所述第二注射泵连通或者断开。
4.根据权利要求1所述的光刻胶喷涂用供液装置，其特征在于，所述第一注射泵和/或第二注射泵的供液流量范围为0.01ml/min-20ml/min。
5.根据权利要求1所述的光刻胶喷涂用供液装置，其特征在于，所述第一控制阀为气动或者电动三通阀。
6.根据权利要求1所述的光刻胶喷涂用供液装置，其特征在于，所述第二控制阀为气动或者电动通断阀。
7.一种超声波喷头组件，其特征在于，包括：超声喷头、超声波发生器和根据权利要求1-6任一项所述的光刻胶喷涂用供液装置，所述超声波发生器与所述超声喷头电连接，所述光刻胶喷涂用供液装置的所述第二控制阀与所述超声喷头连接。
8.根据权利要求7所述的超声波喷头组件，其特征在于，所述超声波发生器的超声波频率为60-200KHz。
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