[实用新型]一种用于磷化铟晶片生产的边形观察设备有效

专利信息
申请号: 202220553728.7 申请日: 2022-03-15
公开(公告)号: CN217084702U 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 王嘉伟;喻会平;战泽兴;黄飞;徐荣荣 申请(专利权)人: 山东欧思特新材料科技有限公司
主分类号: G01N21/84 分类号: G01N21/84;G01N21/01
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 253000 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型涉及磷化铟晶片生产技术领域,尤其涉及一种用于磷化铟晶片生产的边形观察设备。其技术方案包括:包括第一支撑板、工作台和第二支撑板,工作台的顶部分别固定安装有第一支撑板与第二支撑板,第一滑动板的底部定安装有第一电机,第一电机的输出端固定安装有吸盘,第一支撑板的前端与后端皆活动安装有探照灯,第二支撑板的内侧滑动安装有第二滑动板,第二滑动板的顶部活动安装有电子显微镜。本实用新型通过各种结构的组合使得本装置在通过设置有通过第一活动板与第一固定座之间的相互配合,可以方便的将探照灯照射方向进行调节,同时利用螺旋转杆带动吸盘进行上下活动,通过第一电机带动吸盘在清理槽的内部进行转动。
搜索关键词: 一种 用于 磷化 晶片 生产 观察 设备
【主权项】:
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