[实用新型]一种用于磷化铟晶片生产的边形观察设备

说明书

本实用新型涉及磷化铟晶片生产技术领域，尤其涉及一种用于磷化铟晶片生产的边形观察设备。其技术方案包括：包括第一支撑板、工作台和第二支撑板，工作台的顶部分别固定安装有第一支撑板与第二支撑板，第一滑动板的底部定安装有第一电机，第一电机的输出端固定安装有吸盘，第一支撑板的前端与后端皆活动安装有探照灯，第二支撑板的内侧滑动安装有第二滑动板，第二滑动板的顶部活动安装有电子显微镜。本实用新型通过各种结构的组合使得本装置在通过设置有通过第一活动板与第一固定座之间的相互配合，可以方便的将探照灯照射方向进行调节，同时利用螺旋转杆带动吸盘进行上下活动，通过第一电机带动吸盘在清理槽的内部进行转动。

技术领域

本实用新型涉及磷化铟晶片生产技术领域，具体为一种用于磷化铟晶片生产的边形观察设备。

背景技术

磷化铟晶片是重要的化合物半导体材料，与砷化镓相比，其优越性主要在于高的饱和电场飘移速度、导热性好以及较强的抗辐射能力等，在当前迅速发展的光纤通讯领域，磷化铟晶片是首选的衬底材料，晶片的直径将直接影响电子元器件的制备成本经计算，使用4英寸晶片制备电子元器件，将比使用2英寸晶片节省约8倍的成本，因此探索高质量大直径单晶生长，并实现其产业化具有重要意义。

经检索，专利公告号为CN103928369A本发明公开了一种磷化铟晶片退火盒，包括：底座、盛料室、晶片平台、支撑柱、固定柱和顶盖，盛料室为底座和晶片平台之间的腔室，晶片平台固定在底座上，每个晶片平台上有多个支撑柱和多个固定柱，支撑柱和固定柱呈发散式分布，晶片放置于支撑柱上方，通过上述方式，具有很好的电学均匀性、表面完整性和几何参数，实现多片同时退火，提高生产效率等优点。

现有的用于磷化铟晶片生产的边形观察设备存在的缺陷是：

1、目前的用于磷化铟晶片生产的边形观察设备没有较好的调节装置，现有的边形观察装置在使用的过程中，需要工作人员手动的将磷化铟晶进行转动，容易导致手上的灰尘粘附在磷化铟晶上，不能较为方便的进行观察，降低了实用性；

2、一般用于磷化铟晶片生产的边形观察设备没有较好的清理结构，大多数的边形检测装置在使用时，会有一些表面附有灰尘的磷化铟晶片，磷化铟晶片上的灰尘容易导致工作人员的在进行观察时，不能较为精准的进行观察，使用起来较为的不便，为此我们提出一种用于磷化铟晶片生产的边形观察设备来解决现有的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于磷化铟晶片生产的边形观察设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于磷化铟晶片生产的边形观察设备，包括第一支撑板、工作台和第二支撑板，所述工作台的顶部分别固定安装有第一支撑板与第二支撑板，所述一支撑板位于第二支撑板的后端所述第一支撑板的内侧滑动安装有第一滑动板，所述第一滑动板的底部定安装有第一电机，所述第一支撑板之间固定安装有固定板，所述第一电机的输出端固定安装有吸盘，所述第一支撑板的外侧固定安装有第二电机，所述第一支撑板的前端与后端皆活动安装有探照灯，所述第二支撑板的内侧滑动安装有第二滑动板，所述第二滑动板的顶部活动安装有电子显微镜。

通过将磷化铟晶片放置在吸盘上，利用吸盘可以方便的将磷化铟晶片进行固定，同时利用第二电机带动螺纹转杆进行转动，同时可以同步第一滑动板在第一支撑板1的内侧进行上下滑动，操作方便快捷，利用第一滑动板带动吸盘向上活动，可以方便的将吸盘插入清理槽的内部，通过将第二滑动板顺着第二支撑板的内侧进行滑动，可以方便的针对不同身高的工作人员进行位置调节，提高了实用性，通过探照灯可以方便对晶片进行照射。

优选的，所述第一滑动板与第一支撑板之间通过第一滑动槽滑动安装，第二电机的输出端与第一滑动板之间通过螺纹转杆活动安装。通过第一滑动槽方便第一滑动板进行滑动，第二滑动槽方便第二滑动板进行滑动，操作方便快捷。