[实用新型]一种用于磷化铟晶片生产的边形观察设备有效
| 申请号： | 202220553728.7 | 申请日： | 2022-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN217084702U | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 王嘉伟;喻会平;战泽兴;黄飞;徐荣荣 | 申请（专利权）人： | 山东欧思特新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 253000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 磷化 晶片 生产 观察 设备 | ||
1.一种用于磷化铟晶片生产的边形观察设备，包括第一支撑板(1)、工作台(5)和第二支撑板(6)，其特征在于：所述工作台(5)的顶部分别固定安装有第一支撑板(1)与第二支撑板(6)，所述一支撑板(1)位于第二支撑板(6)的后端所述第一支撑板(1)的内侧滑动安装有第一滑动板(3)，所述第一滑动板(3)的底部定安装有第一电机(8)，所述第一支撑板(1)之间固定安装有固定板(10)，所述第一电机(8)的输出端固定安装有吸盘(801)，所述第一支撑板(1)的外侧固定安装有第二电机(9)，所述第一支撑板(1)的前端与后端皆活动安装有探照灯(2)，所述第二支撑板(6)的内侧滑动安装有第二滑动板(602)，所述第二滑动板(602)的顶部活动安装有电子显微镜(7)。
2.根据权利要求1所述的一种用于磷化铟晶片生产的边形观察设备，其特征在于：所述第一滑动板(3)与第一支撑板(1)之间通过第一滑动槽(101)滑动安装，第二电机(9)的输出端与第一滑动板(3)之间通过螺纹转杆(901)活动安装。
3.根据权利要求1所述的一种用于磷化铟晶片生产的边形观察设备，其特征在于：所述固定板(10)的底部固定安装有与吸盘(801)对应的清理槽(1001)，且清理槽(1001)的内部黏贴有清理布(1002)。
4.根据权利要求1所述的一种用于磷化铟晶片生产的边形观察设备，其特征在于：所述探照灯(2)与第一支撑板(1)之间通过第一活动座(401)活动安装，且第一活动座(401)与第一支撑板(1)之间通过第一固定座(4)活动安装。
5.根据权利要求1所述的一种用于磷化铟晶片生产的边形观察设备，其特征在于：所述第二支撑板(6)与第二滑动板(602)之间通过第二滑动槽(601)滑动安装，工作台(5)的底部固定安装有支撑腿(501)。
6.根据权利要求1所述的一种用于磷化铟晶片生产的边形观察设备，其特征在于：所述电子显微镜(7)与第二滑动板(602)之间通过第二活动座(604)活动安装，且第二活动座(604)与第二滑动板(602)之间通过第二固定座(603)活动安装。
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