[实用新型]一种12寸晶圆炉管搬运治具有效
| 申请号： | 202220546832.3 | 申请日： | 2022-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN216994402U | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 周小琳 | 申请（专利权）人： | 苏州金琳芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B62B3/02 | 分类号： | B62B3/02;B62B3/04 |
| 代理公司： | 南京文宸知识产权代理有限公司 32500 | 代理人： | 林有娣 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市中国（江苏）自由贸*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆技术领域，且公开了一种12寸晶圆炉管搬运治具，包括底板，所述底板的底部安装有支撑轮，所述底板的顶部安装有拉杆，所述底板的顶部固定连接有固定柱，所述固定柱的内部螺纹连接有升降丝杆，所述升降丝杆的外壁传动连接有皮带。该12寸晶圆炉管搬运治具，转动调节盘，此时升降丝杆在固定柱的内部上下运动，进一步使得升降滑槽带动滑动板上下运动，推动把手，滑动板可以在升降滑槽的内部运动，从而达到了便于调节高度和位置方便晶圆炉管搬运的效果。转动旋钮，此时移动块在限位槽的限制下沿着横向丝杆的外壁运动，进一步使得两个固定板相互靠近，从而达到了便于对不同尺寸的晶圆炉管进行固定的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 12 寸晶圆 炉管 搬运 | ||
【主权项】：
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