[实用新型]一种12寸晶圆炉管搬运治具

说明书

本实用新型涉及晶圆技术领域，且公开了一种12寸晶圆炉管搬运治具，包括底板，所述底板的底部安装有支撑轮，所述底板的顶部安装有拉杆，所述底板的顶部固定连接有固定柱，所述固定柱的内部螺纹连接有升降丝杆，所述升降丝杆的外壁传动连接有皮带。该12寸晶圆炉管搬运治具，转动调节盘，此时升降丝杆在固定柱的内部上下运动，进一步使得升降滑槽带动滑动板上下运动，推动把手，滑动板可以在升降滑槽的内部运动，从而达到了便于调节高度和位置方便晶圆炉管搬运的效果。转动旋钮，此时移动块在限位槽的限制下沿着横向丝杆的外壁运动，进一步使得两个固定板相互靠近，从而达到了便于对不同尺寸的晶圆炉管进行固定的效果。

技术领域

本实用新型涉及晶圆技术领域，具体为一种12寸晶圆炉管搬运治具。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。

在对12寸晶圆炉管进行搬运过程中，现有的搬运治具结构固定，无法调节高度和位置，搬运时需要耗费较大的体力，不利于安全搬运，且现有的搬运治具只能搬运同一型号的炉管，降低了搬运治具的应用范围，为解决上述问题，我们提出了一种12寸晶圆炉管搬运治具。

实用新型内容

针对现有技术的不足，为解决上述的问题，本实用新型提供如下技术方案：一种12寸晶圆炉管搬运治具，包括底板，所述底板的底部安装有支撑轮，所述底板的顶部安装有拉杆，所述底板的顶部固定连接有固定柱，所述固定柱的内部螺纹连接有升降丝杆，所述升降丝杆的外壁传动连接有皮带，所述升降丝杆的顶部固定连接有调节盘，所述升降丝杆的外壁转动连接有升降滑槽，所述升降滑槽顶部的内部滑动连接有滑动板，所述滑动板的底部安装有滑轮，所述滑动板的一侧固定连接有把手，所述滑动板的内部转动连接有横向丝杆，所述横向丝杆的一端固定连接有旋钮，所述横向丝杆远离旋钮一侧的外壁螺纹连接有移动块，所述移动块的一端固定连接有固定板，所述移动块的外壁固定连接有限位板，所述限位板的外壁滑动连接有限位槽。

进一步的，所述固定柱的内部设有与升降丝杆的外壁相适配的螺纹。

进一步的，所述皮带两侧内部的结构对称设置。

进一步的，所述滑动板的底部通过滑轮与升降滑槽的顶部滑动连接。

进一步的，所述移动块的内部有与横向丝杆的外壁相适配的螺纹。

进一步的，所述滑动板的中部开设有近圆形凹槽，且这个近圆形凹槽两端的内部分别设有固定板。

进一步的，所述限位槽开设在滑动板的内部。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种12寸晶圆炉管搬运治具，具备以下有益效果：

1、该12寸晶圆炉管搬运治具，转动调节盘，此时升降丝杆在固定柱的内部上下运动，进一步使得升降滑槽带动滑动板上下运动，推动把手，滑动板可以在升降滑槽的内部运动，从而达到了便于调节高度和位置方便晶圆炉管搬运的效果。

2、该12寸晶圆炉管搬运治具，转动旋钮，此时移动块在限位槽的限制下沿着横向丝杆的外壁运动，进一步使得两个固定板相互靠近，从而达到了便于对不同尺寸的晶圆炉管进行固定的效果。

附图说明

图1为本实用新型整体结构俯视示意图；

图2为本实用新型整体结构主视示意图；

图3为本实用新型升降滑槽结构立体示意图；

图4为本实用新型滑动板结构俯视示意图；

图5为本实用新型滑动板结构主视剖视示意图。