[实用新型]一种12寸晶圆炉管搬运治具

权利要求书

1.一种12寸晶圆炉管搬运治具，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的底部安装有支撑轮(2)，所述底板(1)的顶部安装有拉杆(3)，所述底板(1)的顶部固定连接有固定柱(4)，所述固定柱(4)的内部螺纹连接有升降丝杆(5)，所述升降丝杆(5)的外壁传动连接有皮带(6)，所述升降丝杆(5)的顶部固定连接有调节盘(7)，所述升降丝杆(5)的外壁转动连接有升降滑槽(8)，所述升降滑槽(8)顶部的内部滑动连接有滑动板(9)，所述滑动板(9)的底部安装有滑轮(10)，所述滑动板(9)的一侧固定连接有把手(11)，所述滑动板(9)的内部转动连接有横向丝杆(12)，所述横向丝杆(12)的一端固定连接有旋钮(13)，所述横向丝杆(12)远离旋钮(13)一侧的外壁螺纹连接有移动块(14)，所述移动块(14)的一端固定连接有固定板(15)，所述移动块(14)的外壁固定连接有限位板(16)，所述限位板(16)的外壁滑动连接有限位槽(17)。

2.根据权利要求1所述的一种12寸晶圆炉管搬运治具，其特征在于：所述固定柱(4)的内部设有与升降丝杆(5)的外壁相适配的螺纹。

3.根据权利要求1所述的一种12寸晶圆炉管搬运治具，其特征在于：所述皮带(6)两侧内部的结构对称设置。

4.根据权利要求1所述的一种12寸晶圆炉管搬运治具，其特征在于：所述滑动板(9)的底部通过滑轮(10)与升降滑槽(8)的顶部滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种12寸晶圆炉管搬运治具，其特征在于：所述移动块(14)的内部有与横向丝杆(12)的外壁相适配的螺纹。

6.根据权利要求1所述的一种12寸晶圆炉管搬运治具，其特征在于：所述滑动板(9)的中部开设有近圆形凹槽，且这个近圆形凹槽两端的内部分别设有固定板(15)。

7.根据权利要求1所述的一种12寸晶圆炉管搬运治具，其特征在于：所述限位槽(17)开设在滑动板(9)的内部。