[实用新型]一种用于生长碳化硅晶体的坩锅

摘要

本实用新型属于坩锅技术领域，尤其为一种用于生长碳化硅晶体的坩锅，包括保温筒、坩埚主体、和电热模块，所述保温筒的内壁上开设有内螺旋槽，所述坩埚主体的外轮廓与保温筒的内轮廓相匹配，所述坩埚主体的外壁上设置有与内螺旋槽相匹配的外螺旋，所述电热模块设置在保温筒的底壁上，所述电热模块的顶端设置有与其相贴合的热传导层，所述热传导层固定于坩埚主体的底端。该用于生长碳化硅晶体的坩锅，通过电热模块和热传导层的设置，能够对坩埚主体底端的硅晶体进行均匀加热，且通过内螺旋槽和外螺旋的设置，能够使得高温气体通过两者之间进行传输，同时可对保温筒和坩埚主体进行加热。