[实用新型]一种用于生长碳化硅晶体的坩锅

权利要求书

1.一种用于生长碳化硅晶体的坩锅，包括保温筒（1）、坩埚主体（2）、和电热模块（3），其特征在于：所述保温筒（1）的内壁上开设有内螺旋槽（7），所述坩埚主体（2）的外轮廓与保温筒（1）的内轮廓相匹配，所述坩埚主体（2）的外壁上设置有与内螺旋槽（7）相匹配的外螺旋（8），所述电热模块（3）设置在保温筒（1）的底壁上，所述电热模块（3）的顶端设置有与其相贴合的热传导层（4），所述热传导层（4）固定于坩埚主体（2）的底端。

2.根据权利要求1所述的一种用于生长碳化硅晶体的坩锅，其特征在于：所述保温筒（1）的外壁上设置有控制器（5），所述保温筒（1）的内部设置有温度传感器（6），所述温度传感器（6）和控制器（5）之间电性连接，所述保温筒（1）的内壁上设置有抽气泵（9），所述抽气泵（9）和控制器（5）电性连接，所述保温筒（1）的两端分别设置有泄压模块（20）和进气模块（21）。

3.根据权利要求2所述的一种用于生长碳化硅晶体的坩锅，其特征在于：所述抽气泵（9）的一端连通有传输导管（10），所述传输导管（10）的另一端与保温筒（1）的内部相连通。

4.根据权利要求1所述的一种用于生长碳化硅晶体的坩锅，其特征在于：所述坩埚主体（2）的外壁上开设有限位槽（11），所述限位槽（11）的内部设置有与其凹面内径相匹配的限位块（12），所述限位块（12）的顶端固定连接有密封板（13），所述密封板（13）与坩埚主体（2）固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于生长碳化硅晶体的坩锅，其特征在于：所述坩埚主体（2）的表面上设置有容纳块（14），所述容纳块（14）的内部贯穿有与其内径相匹配的L型安装块（15），所述L型安装块（15）和容纳块（14）的内壁上均水平贯穿有插接杆（16），所述L型安装块（15）和容纳块（14）的内壁上均开设有与插接杆（16）外径相匹配的插孔。

6.根据权利要求5所述的一种用于生长碳化硅晶体的坩锅，其特征在于：所述插接杆（16）的外壁上开设有锁紧凹口（17），所述锁紧凹口（17）的内部贯穿有与其凹面内径相匹配的锁紧块（18），所述锁紧块（18）的外壁上贯穿有与其升降配合的伸缩弹簧（19）。