[实用新型]一种集成电路芯片生产设备防误报警开关装置

摘要

本实用新型提供安装在集成电路芯片生产设备反应腔体盖子上的防误报警开关装置，包括壳体以及固定设置在壳体中的水银开关；水银开关包括充有惰性气体的玻璃管以及玻璃管内置的水银液滴；所述玻璃管一端设置固定电极，固定电极穿过玻璃管连接引出线，引出线穿出壳体经传板接头与电缆相连，电缆与气体监控报警系统电性连接。随着玻璃管倾斜角度的变化,水银液滴位置由于重力立即发生改变,并以面接触的方式与固定电极相浸润完成开关导通动作。该装置结构简单、成本低廉、易于操作、后期维护费用低，能避免因腔体内极少量的残余气体逸出、而触发厂务端的特气监控报警系统发生误报警，同时保持厂务中央控制室的监控人员对此设备的关注。