[实用新型]一种集成电路芯片生产设备防误报警开关装置

说明书

本实用新型提供安装在集成电路芯片生产设备反应腔体盖子上的防误报警开关装置，包括壳体以及固定设置在壳体中的水银开关；水银开关包括充有惰性气体的玻璃管以及玻璃管内置的水银液滴；所述玻璃管一端设置固定电极，固定电极穿过玻璃管连接引出线，引出线穿出壳体经传板接头与电缆相连，电缆与气体监控报警系统电性连接。随着玻璃管倾斜角度的变化,水银液滴位置由于重力立即发生改变,并以面接触的方式与固定电极相浸润完成开关导通动作。该装置结构简单、成本低廉、易于操作、后期维护费用低，能避免因腔体内极少量的残余气体逸出、而触发厂务端的特气监控报警系统发生误报警，同时保持厂务中央控制室的监控人员对此设备的关注。

技术领域

本实用新型属于报警开关技术领域，具体涉及一种防误报警开关装置。

背景技术

在集成电路芯片制造厂中，大多数直接用于芯片生产的工艺设备都具有结构复杂、高精密度、价格昂贵的特点,而在薄膜、干式蚀刻、扩散等工艺区域，生产工艺设备还必须使用各类具有毒性、易燃性、腐蚀性的特殊气体作为原料，例如：硅烷(SiH₄)、氨气(NH₃)、氯气(Cl₂)、甲烷(CH₄)、三氟化氮(NF₃)、磷烷(PH₃)、砷烷(AsH₃)等，种类可多达数十种，行业内将它们简称为特气。

为了防止特气泄漏可能造成的严重伤害后果，所有集成电路芯片制造厂房内都设置有气体监控报警系统，在厂房内的各区域都会配备与特气种类相对应的气体泄漏侦测器，这些侦测器都连接到气体监控报警系统。在生产过程中一旦发生特气意外泄漏，气体监控报警系统即能立刻侦测到，并且发出不同等级的声光报警，提醒现场的人员必须警戒、检查确认或者立即撤离。在工艺设备使用一段时间之后，须进行定期维护,或者当设备出现故障时，也需要进行故障修理。对于此类使用特气的设备，维修工作必须在经过严格的停机及除污流程后才能进行,其顺序如下:

1)反应腔体执行设备自带的清洁步骤，选定后设备将自动完成初步清洁过程；

2)若是此工艺设备带有加热系统，则必须先进行降温冷却；

3)使用氮气或者其它惰性气体对反应腔和附属管道进行彻底吹扫，并将吹扫后的废气排放至尾气处理设备进行处理后，才能被允许排放至大气中；

4)以上步骤完成之后才能打开反应腔体。

虽然经过上述停机及清洁操作流程之后，维修人员已经可以安全地打开腔体盖子进行维修,但腔体内壁及附属管道系统在高温高浓度条件下经过长时间运行,极少量的特气或反应后气体往往会附着其上而无法完全吹扫干净,所以在打开腔体盖子时仍不可避免有混合气体逸出,这些极微量的气体对操作人员健康和环境并没有影响。由于现有的系统还无法做到在设备维修与厂务安全系统之间实现即时同步监控，这些逸出气体有时可能触发全厂的气体监控报警系统，发出“挥发性有机化合物(VOC)过高”的误报警，这类声光误报警轻则会引起中央监控室的厂务人员非必要关注，必须到生产现场做出检查，浪费了人力和时间；重则会误发最高等级的红色警报，造成全体人员立即撤离、设备被自动强制关机、全超净厂房的生产中断的后果，最终导致重大经济损失。

实用新型内容

本实用新型为克服现有技术中存在的上述问题，提供一种安装在集成电路芯片制造设备反应腔体盖子上的防误报警开关装置，以使维修人员对设备完成定期保养或维修工作时，能避免因腔体内极少量的残余气体逸出、而触发厂务端的特气监控报警系统发生误报警，同时还能继续保持厂务中央控制室的监控人员对此设备的关注。

为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：