[实用新型]一种集成电路芯片生产设备防误报警开关装置

权利要求书

1.一种集成电路芯片生产设备防误报警开关装置，其特征在于，包括壳体(1)、以及固定设置在壳体(1)中的水银开关(2)；所述水银开关(2)包括充有惰性气体的玻璃管(3)以及玻璃管(3)内置的水银液滴(5)；所述玻璃管(3)一端设置二个平行固定电极(6)，电极之间的间距小于水银液滴的直径；固定电极(6)穿过玻璃管(3)连接二根引出线(7)，引出线(7)穿出壳体(1)经穿板接头(8)与电缆(9)相连，电缆(9)与气体监控报警系统电性连接；随着玻璃管(3)倾斜角度的变化,水银液滴(5)位置由于重力发生改变,并以面接触的方式与固定电极(6)相浸润完成开关导通动作，通过电缆(9)向外输出电信号。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片生产设备防误报警开关装置，其特征在于，所述水银开关(2)用热熔胶(4)安装固定在壳体(1)中。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片生产设备防误报警开关装置，其特征在于，所述壳体(1)为密封的长方体结构，采用铝合金材质。