[实用新型]一种超高真空样品准备腔装置

摘要

本实用新型公开了一种超高真空样品准备腔装置，属于真空科研设备技术领域。它包括用于支撑的支撑架，支撑架的架顶固定嵌设有开口腔体，且开口腔体的开口通过法兰固定有球形腔体，球形腔体上开设有多个用于连接器材的连接法兰管，球形腔体通过连接法兰管分别固定有用于调整样品位置的样品架和机械手以及用于真空内获得分子的分子泵，样品架与机械手相互垂直，球形腔体朝向支撑架的一侧固定有多个用于连接离心泵的连接接管。本实用新型通过样品架及其机械手的联合调整，使其位置更加满足科研人员的需求，且整体更加节省空间，质量更轻，同时通过调节垫块，能够提高整体放置后的平稳性。