[实用新型]一种超高真空样品准备腔装置

权利要求书

1.一种超高真空样品准备腔装置，包括用于支撑的支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)的架顶固定嵌设有开口腔体(2)，且所述开口腔体(2)的开口通过法兰固定有球形腔体(3)，所述球形腔体(3)上开设有多个用于连接器材的连接法兰管，所述球形腔体(3)通过所述连接法兰管分别固定有用于调整样品位置的样品架(4)和机械手(5)以及用于真空内获得分子的分子泵(17)，所述样品架(4)与所述机械手(5)相互垂直，所述球形腔体(3)朝向支撑架(1)的一侧固定有多个用于连接离心泵的连接接管(9)。

2.根据权利要求1所述的一种超高真空样品准备腔装置，其特征在于：所述球形腔体(3)朝向所述支撑架(1)的一侧对称固定有两个分子源接管(6)，两个所述分子源接管(6)的一端均延伸至球形腔体(3)内，且两个所述分子源接管(6)位于所述球形腔体(3)内的一端相互连接，所述球形腔体(3)上还固定有进样腔接管(7)和传样杆接管(8)。

3.根据权利要求1所述的一种超高真空样品准备腔装置，其特征在于：所述球形腔体(3)的球顶开设有视窗接口，且所述视窗接口固定安装有透明观察板(10)。

4.根据权利要求1所述的一种超高真空样品准备腔装置，其特征在于：多个所述连接接管(9)呈周向设置。

5.根据权利要求1所述的一种超高真空样品准备腔装置，其特征在于：所述支撑架(1)的多个架脚均固定有调节垫块(11)，且所述调节垫块(11)的一侧固定有滚轮件(12)。

6.根据权利要求5所述的一种超高真空样品准备腔装置，其特征在于：每个所述调节垫块(11)均包括限位管件(13)、螺杆(14)和调节块(15)，所述螺杆(14)与限位管件(13)转动连接，且所述螺杆(14)与所述调节块(15)螺纹配合，所述调节块(15)的一端延伸至限位管件(13)的外部，且所述调节块(15)与所述限位管件(13)滑动连接，所述限位管件(13)与所述支撑架(1)固定。

7.根据权利要求6所述的一种超高真空样品准备腔装置，其特征在于：每个所述限位管件(13)的侧壁均开设有缺口，所述螺杆(14)上固定有与所述缺口相对应的拨轮(16)。