[实用新型]一种超高真空样品准备腔装置

说明书

本实用新型公开了一种超高真空样品准备腔装置，属于真空科研设备技术领域。它包括用于支撑的支撑架，支撑架的架顶固定嵌设有开口腔体，且开口腔体的开口通过法兰固定有球形腔体，球形腔体上开设有多个用于连接器材的连接法兰管，球形腔体通过连接法兰管分别固定有用于调整样品位置的样品架和机械手以及用于真空内获得分子的分子泵，样品架与机械手相互垂直，球形腔体朝向支撑架的一侧固定有多个用于连接离心泵的连接接管。本实用新型通过样品架及其机械手的联合调整，使其位置更加满足科研人员的需求，且整体更加节省空间，质量更轻，同时通过调节垫块，能够提高整体放置后的平稳性。

技术领域

本实用新型涉及一种超高真空样品准备腔装置，属于真空科研设备技术领域。

背景技术

在各类超高真空表面科学实验中，由于实验样品常常需要不同的探测方式(如STM、XPS等)进行表征，因此，样品在经超高真空传样和表征后，才能够对样品在真空的环境中进行科研分析。

目前，主要通过真空制备腔来完成样品的真空分析，而现有技术中的真空制备腔其体积较大，同时在对样品只能够进行一个方位的调整，不能够使其位置完全满足科研人员的需求，进而不便于人们的使用。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于：提供一种超高真空样品准备腔装置，它解决了真空制备腔其体积较大，同时在对样品只能够进行一个方位的调整，不能够使其位置完全满足科研人员的需求，进而不便于人们的使用的问题。

本实用新型所要解决的技术问题采取以下技术方案来实现：

一种超高真空样品准备腔装置，包括用于支撑的支撑架，所述支撑架的架顶固定嵌设有开口腔体，且所述开口腔体的开口通过法兰固定有球形腔体，所述球形腔体上开设有多个用于连接器材的连接法兰管，所述球形腔体通过所述连接法兰管分别固定有用于调整样品位置的样品架和机械手以及用于真空内获得分子的分子泵，所述样品架与所述机械手相互垂直，所述球形腔体朝向支撑架的一侧固定有多个用于连接离心泵的连接接管。

作为优选实例，所述球形腔体朝向所述支撑架的一侧对称固定有两个分子源接管，两个所述分子源接管的一端均延伸至球形腔体内，且两个所述分子源接管位于所述球形腔体内的一端相互连接，所述球形腔体上还固定有进样腔接管和传样杆接管。

作为优选实例，所述球形腔体的球顶开设有视窗接口，且所述视窗接口固定安装有透明观察板。

作为优选实例，多个所述连接接管呈周向设置。

作为优选实例，所述支撑架的多个架脚均固定有调节垫块，且所述调节垫块的一侧固定有滚轮件。

作为优选实例，每个所述调节垫块均包括限位管件、螺杆和调节块，所述螺杆与限位管件转动连接，且所述螺杆与所述调节块螺纹配合，所述调节块的一端延伸至限位管件的外部，且所述调节块与所述限位管件滑动连接，所述限位管件与所述支撑架固定。

作为优选实例，每个所述限位管件的侧壁均开设有缺口，所述螺杆上固定有与所述缺口相对应的拨轮。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过样品架及其机械手的调整，使其位置更加满足科研人员的需求，且整体更加节省空间，质量更轻，同时通过调节垫块，能够提高整体放置后的平稳性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1另一方向的结构示意图；

图3为本实用新型中调节垫块的结构示意图。

图中：1支撑架、2开口腔体、3球形腔体、4样品架、5机械手、6分子源接管、7进样腔接管、8传样杆接管、9连接接管、10透明观察板、11 调节垫块、12滚轮件、13限位管件、14螺杆、15调节块、16拨轮、17分子泵。

具体实施方式