[实用新型]三氟化氮生产废气处理装置

摘要

本实用新型公开一种三氟化氮生产废气处理装置，属于三氟化氮生产装置技术领域，包括液氮罐，液氮罐内设有冷阱室，冷阱室的外部连接有三氟化氮生产气体入口，冷阱室的上方连接有废气抽口管道，废气抽口管道的外部连接有废气收集装置，冷阱室的下方连接有下落通道，下落通道的下方连接有回收纯化罐，回收纯化罐的外部缠绕设置有介质循环盘管，回收纯化罐的下方设有气体出口。通过冷阱法实现三氟化氮粗产物中杂质的去除，处理方法简单，设备容易操作，同时可以监测罐体的问题，根据罐内的温度进一步进行处理，提升废气处理的效率，解决了现有技术中存在的问题。