[实用新型]三氟化氮生产废气处理装置有效
申请号: | 202220243330.3 | 申请日: | 2022-01-29 |
公开(公告)号: | CN216824888U | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
发明(设计)人: | 李兴虎;白音努尔;马雷;汤国军;杨延兵;吴凯;潘波 | 申请(专利权)人: | 乌兰察布南大微电子材料有限公司 |
主分类号: | B01D8/00 | 分类号: | B01D8/00 |
代理公司: | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人: | 卢登涛 |
地址: | 012000 内蒙古自治区乌兰*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氟化 生产 废气 处理 装置 | ||
1.一种三氟化氮生产废气处理装置,其特征在于:包括液氮罐(3),所述液氮罐(3)内设有冷阱室(15),冷阱室(15)浸泡在盛装有液氮的液氮罐(3)内,冷阱室(15)的外部连接有三氟化氮生产气体入口(14),冷阱室(15)的上方连接有废气抽口管道(2),废气抽口管道(2)的外部连接有废气收集装置(1),冷阱室(15)的下方连接有下落通道(13),下落通道(13)的下方连接有回收纯化罐(6),所述回收纯化罐(6)的外部缠绕设置有介质循环盘管(8),回收纯化罐(6)的下方设有气体出口(9),所述冷阱室(15)内设有第一温度传感器(5),回收纯化罐(6)内设有第二温度传感器(7),第一温度传感器(5)和第二温度传感器(7)电气连接有控制器,控制器连接有显示器(10)和报警器。
2.根据权利要求1所述的三氟化氮生产废气处理装置,其特征在于:所述的下落通道(13)的入口处连接有电磁阀(12),电磁阀(12)连接控制器。
3.根据权利要求1所述的三氟化氮生产废气处理装置,其特征在于:所述的冷阱室(15)的外部设有保温装置(4)。
4.根据权利要求1所述的三氟化氮生产废气处理装置,其特征在于:所述的控制器连接有无线传输模块,控制器通过无线传输模块与外部终端实现数据通讯。
5.根据权利要求1所述的三氟化氮生产废气处理装置,其特征在于:所述的介质循环盘管(8)包括介质入口(16)和介质出口(17)。
6.根据权利要求1所述的三氟化氮生产废气处理装置,其特征在于:所述的显示器(10)连接有支架(11),支架(11)固定在回收纯化罐(6)的外部。
7.根据权利要求1所述的三氟化氮生产废气处理装置,其特征在于:所述的控制器采用STM32型单片机。
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