[实用新型]三氟化氮生产废气处理装置

说明书

本实用新型公开一种三氟化氮生产废气处理装置，属于三氟化氮生产装置技术领域，包括液氮罐，液氮罐内设有冷阱室，冷阱室的外部连接有三氟化氮生产气体入口，冷阱室的上方连接有废气抽口管道，废气抽口管道的外部连接有废气收集装置，冷阱室的下方连接有下落通道，下落通道的下方连接有回收纯化罐，回收纯化罐的外部缠绕设置有介质循环盘管，回收纯化罐的下方设有气体出口。通过冷阱法实现三氟化氮粗产物中杂质的去除，处理方法简单，设备容易操作，同时可以监测罐体的问题，根据罐内的温度进一步进行处理，提升废气处理的效率，解决了现有技术中存在的问题。

技术领域

本实用新型涉及一种三氟化氮生产废气处理装置，属于三氟化氮生产装置技术领域。

背景技术

三氟化氮生产通常是采用电解的方式，电解产生的三氟化氮粗气中含有多种废气，需要对其中的废气进行去除，现有技术中对废气的处理工艺较为复杂，废气处理的效果不理想，根据三氟化氮的沸点可以采用冷阱法对三氟化氮进行纯化，纯化的过程简单，技术人员容易操作。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种三氟化氮生产废气处理装置，解决了现有技术中出现的问题。

本实用新型所述的三氟化氮生产废气处理装置，包括液氮罐，液氮罐内设有冷阱室，冷阱室浸泡在盛装有液氮的液氮罐内，冷阱室的外部连接有三氟化氮生产气体入口，冷阱室的上方连接有废气抽口管道，废气抽口管道的外部连接有废气收集装置，冷阱室的下方连接有下落通道，下落通道的下方连接有回收纯化罐，回收纯化罐的外部缠绕设置有介质循环盘管，回收纯化罐的下方设有气体出口，冷阱室内设有第一温度传感器，回收纯化罐内设有第二温度传感器，第一温度传感器和第二温度传感器电气连接有控制器，控制器连接有显示器和报警器。

进一步的，下落通道的入口处连接有电磁阀，电磁阀连接控制器。

进一步的，冷阱室的外部设有保温装置。

进一步的，控制器连接有无线传输模块，控制器通过无线传输模块与外部终端实现数据通讯。

进一步的，介质循环盘管包括介质入口和介质出口。

进一步的，显示器连接有支架，支架固定在回收纯化罐的外部。

进一步的，控制器采用STM32型单片机。

本实用新型与现有技术相比，具有如下有益效果：

本实用新型所述的三氟化氮生产废气处理装置，通过冷阱法实现三氟化氮粗产物中杂质的去除，处理方法简单，设备容易操作，同时可以监测罐体的温度，根据罐内的温度进一步进行处理，进一步对三氟化氮进行纯化，处理方法简单，效率高，解决了现有技术中出现的问题。解决了现有技术中存在的问题。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中第二净化装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例中控制器的电路连接框图；

图中：1、废气收集装置；2、废气抽口管道；3、液氮罐；4、保温装置；5、第一温度传感器；6、回收纯化罐；7、第二温度传感器；8、介质循环盘管；9、出口；10、显示器；11、支架；12、电磁阀；13、下落通道；14、三氟化氮生产气体入口；15、冷阱室；16、介质入口；17、介质出口。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明：

实施例1：