[实用新型]多晶硅还原尾气中氯硅烷的回收装置

摘要

本实用新型公开了多晶硅还原尾气中氯硅烷的回收装置，包括处理箱，所述处理箱的一侧固定连接有进气管，所述进气管的内部固定安装有一号电磁阀，所述处理箱的顶部固定连接有出气管，所述出气管的内部固定安装有二号电磁阀，本实用新型的优点：将进气管接通尾气管，再打开一号电磁阀使尾气进入到处理箱的内部，然后尾气向上飘动经过滤网过滤掉尾气中的杂质，同时打开二号电磁阀，风机的输入端将过滤后的尾气抽出，有利于对尾气中的杂质快速过滤，从而提高氯硅烷的回收效率；电机的输出端可带动往复丝杆转动，然后滑块沿着一号滑杆运动，从而毛刷对滤网上吸附的杂质往复清洁，提高滤网的清洁效率。