[实用新型]多晶硅还原尾气中氯硅烷的回收装置

说明书

本实用新型公开了多晶硅还原尾气中氯硅烷的回收装置，包括处理箱，所述处理箱的一侧固定连接有进气管，所述进气管的内部固定安装有一号电磁阀，所述处理箱的顶部固定连接有出气管，所述出气管的内部固定安装有二号电磁阀，本实用新型的优点：将进气管接通尾气管，再打开一号电磁阀使尾气进入到处理箱的内部，然后尾气向上飘动经过滤网过滤掉尾气中的杂质，同时打开二号电磁阀，风机的输入端将过滤后的尾气抽出，有利于对尾气中的杂质快速过滤，从而提高氯硅烷的回收效率；电机的输出端可带动往复丝杆转动，然后滑块沿着一号滑杆运动，从而毛刷对滤网上吸附的杂质往复清洁，提高滤网的清洁效率。

技术领域：

本实用新型涉及多晶硅技术领域，具体为多晶硅还原尾气中氯硅烷的回收装置。

背景技术：

多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅，多晶硅在生产过程中，产生的尾气中会含有氯硅烷，通过回收装置对氯硅烷需要先对尾气中的杂质过滤，现有的回收装置缺乏对尾气中的杂质过滤的功能，从而影响对氯硅烷的回收效率。

实用新型内容：

本实用新型的目的在于提供多晶硅还原尾气中氯硅烷的回收装置，以解决上述背景技术中提出回收装置缺乏对尾气中的杂质过滤的功能，从而影响对氯硅烷的回收效率的问题。

本实用新型由如下技术方案实施：多晶硅还原尾气中氯硅烷的回收装置，包括处理箱，所述处理箱的一侧固定连接有进气管，所述进气管的内部固定安装有一号电磁阀，所述处理箱的顶部固定连接有出气管，所述出气管的内部固定安装有二号电磁阀，所述处理箱的顶部且位于出气管的一侧固定连接有支撑板，所述支撑板的一侧固定安装有风机，所述风机的输入端与出气管的一端固定连接，所述处理箱的内部固定安装有滤网。

作为本实用新型的一种优选的技术方案，所述处理箱的内部且位于滤网的下方转动连接有往复丝杆，所述往复丝杆的一端延伸至处理箱的外侧固定安装有电机，所述处理箱的内部且位于往复丝杆的下方固定连接有一号滑杆，所述往复丝杆的外侧螺纹连接有滑块，所述滑块的顶部固定连接有毛刷，所述滑块与一号滑杆滑动连接。

作为本实用新型的一种优选的技术方案，所述处理箱的底部固定连接有排杂管，所述处理箱的底部且位于排杂管的一侧固定连接有二号滑杆，所述二号滑杆的外侧滑动连接有挡板，所述挡板的内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端与处理箱转动连接。

作为本实用新型的一种优选的技术方案，所述处理箱的正面固定连接有可视窗。

作为本实用新型的一种优选的技术方案，所述处理箱的正面且位于可视窗的一侧固定安装有控制面板，所述电机、二号电磁阀、风机和一号电磁阀均与控制面板电性连接

本实用新型的优点：

1、本实用新型中，将进气管接通尾气管，再打开一号电磁阀使尾气进入到处理箱的内部，然后尾气向上飘动经过滤网过滤掉尾气中的杂质，同时打开二号电磁阀，风机的输入端将过滤后的尾气抽出，有利于对尾气中的杂质快速过滤，从而提高氯硅烷的回收效率。

2、本实用新型中，电机的输出端可带动往复丝杆转动，然后滑块沿着一号滑杆运动，从而毛刷对滤网上吸附的杂质往复清洁，提高滤网的清洁效率。

附图说明：

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的正视图；

图2为本实用新型的剖面结构示意图；

图3为本实用新型的图2中A处放大结构示意图。