[实用新型]多晶硅还原尾气中氯硅烷的回收装置

权利要求书

1.多晶硅还原尾气中氯硅烷的回收装置，包括处理箱(1)，其特征在于，所述处理箱(1)的一侧固定连接有进气管(2)，所述进气管(2)的内部固定安装有一号电磁阀(3)，所述处理箱(1)的顶部固定连接有出气管(4)，所述出气管(4)的内部固定安装有二号电磁阀(5)，所述处理箱(1)的顶部且位于出气管(4)的一侧固定连接有支撑板(7)，所述支撑板(7)的一侧固定安装有风机(6)，所述风机(6)的输入端与出气管(4)的一端固定连接，所述处理箱(1)的内部固定安装有滤网(9)。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气中氯硅烷的回收装置，其特征在于：所述处理箱(1)的内部且位于滤网(9)的下方转动连接有往复丝杆(11)，所述往复丝杆(11)的一端延伸至处理箱(1)的外侧固定安装有电机(8)，所述处理箱(1)的内部且位于往复丝杆(11)的下方固定连接有一号滑杆(12)，所述往复丝杆(11)的外侧螺纹连接有滑块(13)，所述滑块(13)的顶部固定连接有毛刷(14)，所述滑块(13)与一号滑杆(12)滑动连接。

3.根据权利要求2所述的多晶硅还原尾气中氯硅烷的回收装置，其特征在于：所述处理箱(1)的底部固定连接有排杂管(10)，所述处理箱(1)的底部且位于排杂管(10)的一侧固定连接有二号滑杆(15)，所述二号滑杆(15)的外侧滑动连接有挡板(17)，所述挡板(17)的内部螺纹连接有螺纹杆(16)，所述螺纹杆(16)的一端与处理箱(1)转动连接。

4.根据权利要求3所述的多晶硅还原尾气中氯硅烷的回收装置，其特征在于：所述处理箱(1)的正面固定连接有可视窗(19)。

5.根据权利要求4所述的多晶硅还原尾气中氯硅烷的回收装置，其特征在于：所述处理箱(1)的正面且位于可视窗(19)的一侧固定安装有控制面板(18)，所述电机(8)、二号电磁阀(5)、风机(6)和一号电磁阀(3)均与控制面板(18)电性连接。