[实用新型]一种晶圆表面检测机

摘要

本实用新型公开了晶圆加工技术领域的一种晶圆表面检测机，包括底座，所述底座的顶部固定安装有竖梁，所述竖梁的右侧滑动连接有横梁，所述横梁的底部固定安装有检测机本体，所述底座顶部的右侧固定安装有平台，所述底座内腔的右侧设置有负压机构，本实用新型通过负压机构将晶圆牢固的吸附在平台上，并且辅助设置有夹板来对晶圆进一步固定，避免在检测的过程中晶圆产生挪动位移现象，而且在检测的过程中，清理机构能够持续不断的向晶圆表面吹送气体，通过气流的作用将晶圆表面的附着物吹散，以达到清理的目的，并且能够在持续检测的过程中，防止浮灰落在晶圆表面，达到了提升检测精确性的优点，十分值得推广。