[实用新型]一种晶圆表面检测机

权利要求书

1.一种晶圆表面检测机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有竖梁(2)，所述竖梁(2)的右侧滑动连接有横梁(3)，所述横梁(3)的底部固定安装有检测机本体(4)，所述底座(1)顶部的右侧固定安装有平台(5)；

所述底座(1)内腔的右侧设置有负压机构(6)，所述底座(1)内腔的左侧设置有清理机构(7)；

所述竖梁(2)的内部设置有升降机构(8)。

2.根据权利要求1所述的晶圆表面检测机，其特征在于：所述负压机构(6)包括抽气机(61)，所述抽气机(61)固定安装在底座(1)的内部，所述抽气机(61)的进气端连通有圆筒(62)，所述圆筒(62)的顶部延伸到平台(5)的内部，所述圆筒(62)的顶部开设有气孔。

3.根据权利要求1所述的晶圆表面检测机，其特征在于：所述清理机构(7)包括风机(71)，所述风机(71)固定安装在底座(1)内腔的左侧，所述风机(71)的排气端连通有输送管(72)，所述输送管(72)的另一端贯穿到底座(1)的外部，所述输送管(72)的两侧均连通有软管(73)，所述软管(73)的另一端固定安装有空心板(74)，所述空心板(74)的底部固定安装有夹板(75)，所述空心板(74)的一侧连通有喷嘴(76)。

4.根据权利要求3所述的晶圆表面检测机，其特征在于：所述平台(5)内腔的两侧均固定安装有滑杆(9)，所述滑杆(9)的表面滑动连接有滑块(10)，所述滑块(10)的顶部与夹板(75)的底部固定安装，所述滑杆(9)的表面套设有弹簧(11)，所述弹簧(11)的一端与滑块(10)固定安装，所述弹簧(11)的另一端与底座(1)的内壁固定安装。

5.根据权利要求1所述的晶圆表面检测机，其特征在于：所述升降机构(8)包括电机(81)，所述电机(81)固定安装在竖梁(2)的内部，所述电机(81)的输出轴固定安装有丝杆(82)，所述丝杆(82)的顶部与竖梁(2)内腔的顶部转动连接，所述丝杆(82)的表面螺纹连接有套筒(83)，所述套筒(83)的右侧贯穿到竖梁(2)的外部，所述套筒(83)的右侧与横梁(3)的左侧固定安装。

6.根据权利要求2所述的晶圆表面检测机，其特征在于：所述圆筒(62)的顶部固定安装有橡胶防护垫(12)，所述橡胶防护垫(12)的顶部与平台(5)的顶部为齐平设置。