[实用新型]晶圆清洗机有效
| 申请号： | 202220027998.4 | 申请日： | 2022-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN217191177U | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 廖招军;于飞;张智广;吴鹏飞;陈浩 | 申请（专利权）人： | 苏州特斯特半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 32623 | 代理人： | 柯兴宇 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆清洗机，其通过驱动电机来控制喷头转动，从而对晶圆进行360度无死角清洗；通过旋转电机来控制真空吸盘的转动，从而使得晶圆在清洗过程中进行高速往复转动，实现自清洁，采用双重清洗，使得晶圆的清洗效果达到最佳；通过设置多个通气腔和连通腔，将晶圆吸附固定在真空吸盘上，不会损伤晶圆表面，保证晶圆清洗过程中的自清洁；通过推拉组件，可以轻松实现对推拉盖的推拉运动，方便将晶圆从真空吸盘上进行取放。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 | ||
【主权项】：
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