[实用新型]晶圆清洗机

权利要求书

1.晶圆清洗机，其特征在于：包括

支撑板(1)，设置在机架(10)内部与之连接，用于支撑和连接其他零部件；

还包括设置在支撑板(1)下面的驱动电机(2)，所述驱动电机(2)的驱动端与旋转杆(21)的一端通过联轴器(22)连接，所述旋转杆(21)的另一端与旋转架(23)的一端连接，所述旋转架(23)的另一端与喷头(24)连接，所述喷头(24)与水泵(25)通过水管连接；

还包括设置在支撑板(1)下方的旋转电机(3)，所述旋转电机(3)的驱动端与主动齿轮(31)相连接，所述主动齿轮(31)通过传送带(32)与从动齿轮(33)连接，所述从动齿轮(33)与连接杆(34)的一端连接，所述连接杆(34)的另一端与连接轴承(35)的一端连接，所述连接轴承(35)的另一端与连通罩(36)相连接，所述连通罩(36)与真空吸盘(37)相连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于：所述旋转杆(21)还与设置在支撑板(1)上面的限位轴承(26)连接。

3.根据权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于：所述连接杆(34)还与位于连接轴承(35)和从动齿轮(33)之间的若干个嵌入轴承(38)相连接，所述嵌入轴承(38)嵌入位于支撑板(1)上面的支撑架(4)内部。

4.根据权利要求3所述的晶圆清洗机，其特征在于：所述支撑架(4)一侧开设有连通腔(41)，所述连通腔(41)的一端与连接杆(34)内的第一通气腔(341)连接，所述连通腔(41)的另一端与气泵(5)连接。

5.根据权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于：所述连通罩(36)内部设置有第二通气腔(361)，所述第二通气腔(361)与真空吸盘(37)内部的第三通气腔(371)连接，所述第三通气腔(371)与同样设置在真空吸盘(37)内部的第四通气腔(372)连接。

6.根据权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于：还包括推拉组件，所述推拉组件包括导轨(6)、滚轮(7)、卡块(8)和推拉盖(9)，所述导轨(6)与机架(10)连接，所述导轨(6)与滚轮(7)接触连接，所述滚轮(7)与卡块(8)连接，所述卡块(8)卡入推拉盖(9)一侧。