[发明专利]一种石英晶片抛光装置及抛光方法在审
| 申请号： | 202211736932.3 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN115890459A | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | 刘胜男;葛四合 | 申请（专利权）人： | 湖南科鑫泰电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B7/22;B24B7/17;B24B57/02;B24B57/00 |
| 代理公司： | 长沙明新专利代理事务所(普通合伙) 43222 | 代理人： | 徐新 |
| 地址： | 413000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明属于石英晶片抛光技术领域，具体的说是一种石英晶片抛光装置及抛光方法，包括双面抛光机、储液箱、水泵、供液管、储气罐、抽气泵、一号气管和空心立杆；启动抽气泵，将储气罐内部的氩气通过一号气管和空心立杆注入储液箱的内部，将储液箱内部的空气排尽，将配置好的抛光液灌入储液箱的内部，氩气将空气与抛光液分隔，阻挡空气中的灰尘等固定杂质进入抛光液中；同时，氩气由空心立杆进入储液箱内部的抛光液时，氩气向四周飞散，喷射的氩气，使得抛光液在储液箱的内部运动，使得抛光液中的固体磨料难以静止，从而降低了抛光液中的固体磨料聚集成大颗粒的固体磨料，继而降低了造成石英晶片表面的划伤的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 晶片 抛光 装置 方法 | ||
【主权项】：
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