[发明专利]一种用于化学机械抛光的弹性膜和承载头在审
| 申请号： | 202211728619.5 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN116038556A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;温世乾;孟松林;王宇 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/32 | 分类号： | B24B37/32;B24B37/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于化学机械抛光的弹性膜和承载头，所述弹性膜包括：圆形的底板部；外周壁，其包括直立部、褶皱部和第一水平延伸部，所述直立部沿所述底板部的周缘向上竖直延伸而成，所述褶皱部位于所述直立部之上，所述第一水平延伸部自所述褶皱部顶端朝向内侧水平延伸而成；以及至少一个内周壁，其同心设置于所述外周壁的内侧；其中，所述褶皱部为开口向内的梯形折边。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 化学 机械抛光 弹性 承载 | ||
【主权项】：
暂无信息
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