[发明专利]一种用于化学机械抛光的弹性膜和承载头在审
| 申请号： | 202211728619.5 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN116038556A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;温世乾;孟松林;王宇 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/32 | 分类号： | B24B37/32;B24B37/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 化学 机械抛光 弹性 承载 | ||
1.一种用于化学机械抛光的弹性膜，其特征在于，包括：
圆形的底板部；
外周壁，其包括直立部、褶皱部和第一水平延伸部，所述直立部沿所述底板部的周缘向上竖直延伸而成，所述褶皱部位于所述直立部之上，所述第一水平延伸部自所述褶皱部顶端朝向内侧水平延伸而成；
以及至少一个内周壁，其同心设置于所述外周壁的内侧；
其中，所述褶皱部为开口向内的梯形折边。
2.如权利要求1所述的弹性膜，其特征在于，所述褶皱部包括第一斜板、连接板和第二斜板，所述第一斜板自所述直立部朝外向上延伸，所述连接板自所述第一斜板的顶端竖向延伸，所述第二斜板自所述连接板的顶端朝内向上延伸并与第一水平延伸部连接。
3.如权利要求2所述的弹性膜，其特征在于，所述第二斜板与第一水平延伸部的连接处位于所述直立部的内侧。
4.如权利要求2所述的弹性膜，其特征在于，所述连接板的厚度小于或等于所述第一斜板及第二斜板的厚度。
5.如权利要求2所述的弹性膜，其特征在于，所述连接板的外沿位于所述直立部的外侧。
6.如权利要求2所述的弹性膜，其特征在于，所述直立部的外周面开设有环状的凹槽，所述连接板的外沿与所述凹槽的内周面对齐。
7.如权利要求2所述的弹性膜，其特征在于，所述直立部的顶端设置有衔接部，所述衔接部沿所述直立部的内沿向上延伸设置，所述褶皱部自所述衔接部的顶端折边而成。
8.如权利要求7所述的弹性膜，其特征在于，所述衔接部的厚度大于所述第一斜板或第二斜板的厚度。
9.如权利要求7所述的弹性膜，其特征在于，所述第二斜板与所述第一水平延伸部的连接处位于所述衔接部的内侧。
10.一种用于化学机械抛光的弹性膜，其特征在于，包括：
圆形的底板部；
外周壁，其包括直立部、褶皱部和第一水平延伸部，所述直立部沿所述底板部的周缘向上竖直延伸而成，所述褶皱部位于所述直立部之上，所述第一水平延伸部自所述褶皱部顶端朝向内侧水平延伸而成；
以及至少一个内周壁，其同心设置于所述外周壁的内侧；
所述褶皱部包括第一斜板、连接板和第二斜板，所述第一斜板自所述直立部朝外向上延伸，所述连接板自所述第一斜板的顶端向上延伸，所述第二斜板自所述连接板的顶端朝内向上延伸并与第一水平延伸部连接；
其中，所述褶皱部的厚度小于第一水平延伸部的厚度。
11.如权利要求10所述的弹性膜，其特征在于，所述第一水平延伸部的厚度较所述第二斜板的厚度至少大10％。
12.如权利要求10所述的弹性膜，其特征在于，所述第二斜板的厚度较所述第一斜板的厚度至少大10％。
13.如权利要求11所述的弹性膜，其特征在于，所述连接板的厚度等于所述第二斜板的厚度。
14.如权利要求12所述的弹性膜，其特征在于，所述第二斜板的厚度较第一斜板的厚度大10％～30％。
15.如权利要求10所述的弹性膜，其特征在于，所述连接板自所述第一斜板的顶端朝向弹性膜的内侧向上延伸。
16.如权利要求15所述的弹性膜，其特征在于，所述连接板与所述第一水平延伸部的结合处的外沿与所述直立部的外侧壁对齐。
17.如权利要求15所述的弹性膜，其特征在于，所述连接板与所述第一水平延伸部的夹角为50～80°。
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