[发明专利]一种MCS绝压和密封表压传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202211697168.3 | 申请日： | 2022-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN116296035A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 郭和平;谷荣祥;万桦坪;郭文成 | 申请（专利权）人： | 西安中星测控有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L9/08;G01L19/14;B23K31/02 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 李传亮 |
| 地址： | 710000 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种MCS绝压和密封表压传感器及其制作方法，涉及压力传感器制作技术的领域，其包括MCS压力传感器本体以及MCS背压腔壳体，MCS压力传感器本体包括弹性体外壳以及感压膜片，弹性体外壳的两端开口设置，感压膜片覆设在弹性体外壳一端的端部开口上，感压膜片上刻蚀有惠斯通电桥；感压膜片位于惠斯通电桥上的位置设置有引线；MCS背压腔壳体上留有供弹性体外壳插入的配合腔，MCS背压腔壳体的端部设置有孔型可伐针，引线穿过孔型可伐针后二者之间通过焊接密封；MCS背压腔壳体的端部还开设有通气孔，通气孔在MCS背压腔壳体内抽真空或加注惰性气体后焊接密封。本申请具有改善密封表压型和绝压型压力传感器的制作难度的问题的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mcs 密封 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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