[发明专利]一种MCS绝压和密封表压传感器及其制作方法

说明书

本申请涉及一种MCS绝压和密封表压传感器及其制作方法，涉及压力传感器制作技术的领域，其包括MCS压力传感器本体以及MCS背压腔壳体，MCS压力传感器本体包括弹性体外壳以及感压膜片，弹性体外壳的两端开口设置，感压膜片覆设在弹性体外壳一端的端部开口上，感压膜片上刻蚀有惠斯通电桥；感压膜片位于惠斯通电桥上的位置设置有引线；MCS背压腔壳体上留有供弹性体外壳插入的配合腔，MCS背压腔壳体的端部设置有孔型可伐针，引线穿过孔型可伐针后二者之间通过焊接密封；MCS背压腔壳体的端部还开设有通气孔，通气孔在MCS背压腔壳体内抽真空或加注惰性气体后焊接密封。本申请具有改善密封表压型和绝压型压力传感器的制作难度的问题的效果。

技术领域

本申请涉及压力传感器制作技术的领域，尤其是涉及一种MCS绝压和密封表压传感器及其制作方法。

背景技术

目前, 压力传感器主要用于测量流体的压力、液位、差压、流量或重量，并广泛应用于现代生活、工业控制、汽车、石油化工、船舶、航空航天等诸多领域。随着MCS技术压力传感器的应用越来越来广泛，客户对MCS技术压力传感器的应用形式和要求也越来越多，有的需要绝压型，有的需要密封表压型，还有的需要差压型，不同型号的压力传感器有不同的使用场景。

由于表压型压力传感器在工作时，其背压腔必须和大气相通才能正常工作。但是在户外、潮湿、气压变化比较大的环境下，空气中的雨水、湿气、雾气、凝露、有害介质等就会通过背压腔的大气通道进入传感器内部，对传感器的电路形成伤害，所以在此情况下如果用表压型产品就缩短压力传感器的寿命，有些或者根本就没法准确测量，这种情况下只能选用密封表压或绝压传感器。还有就是航空、航天、航海领域由于使用环境极其恶劣和复杂，环境压力变化大、盐雾非常严重，这种环境只能选用绝压型压力传感器才能准确的测量流体的压力，通过流体的压力再换算成重量、加速度、速度、高度等参数。

针对上述中的相关技术，申请人认为，绝压型和密封表压型压力传感器由于使用场景的不同，其制作要求也相对应的增加，比如绝压型的压力传感器需要内部为真空，而密封表压型压力传感器需要内部充斥惰性气体，如何设计密封表压型压力传感器以及绝压型传感器成为了现在亟待解决的一个技术难题，而且绝压型和密封表压型压力传感器的制作难度也进一步增加。

发明内容

为了改善密封表压型和绝压型压力传感器的制作难度的问题，本申请的目的是提供一种MCS绝压和密封表压传感器及其制作方法。

第一方面，本申请提供的一种MCS绝压和密封表压传感器采用如下的技术方案：

一种MCS绝压和密封表压传感器，包括MCS压力传感器本体以及MCS背压腔壳体，所述MCS压力传感器本体包括弹性体外壳以及感压膜片，所述弹性体外壳的两端开口设置，所述感压膜片覆设在弹性体外壳一端的端部开口上，所述感压膜片上刻蚀有惠斯通电桥；所述感压膜片位于惠斯通电桥上的位置设置有引线；所述MCS背压腔壳体上留有供弹性体外壳插入的配合腔，所述MCS背压腔壳体的端部设置有孔型可伐针，所述引线穿过孔型可伐针后二者之间通过焊接密封；所述MCS背压腔壳体的端部还开设有通气孔，所述通气孔在MCS背压腔壳体内抽真空或加注惰性气体后焊接密封。

通过采用上述技术方案，将引线穿过孔型可伐针后进行焊接密封，这时MCS背压腔壳体内的背压腔只通过通气孔与外界连通，这时通过通气孔在MCS背压腔壳体内抽真空后立即将通气孔焊接密封，这时便能够让MCS背压腔壳体的背压腔内形成真空环境，从而能够方便地制作成MCS绝压型压力传感器；同样地，通过通气孔在MCS背压腔壳体内注入惰性气体后让MCS背压腔壳体内的背压腔处于标准大气压的压力下，这时立即将通气孔焊接密封，便能够制作成MCS密封表压型压力传感器；这样设置后，不仅能够让MCS绝压型压力传感器和MCS密封表压型压力传感器制作更为简单，而且MCS绝压型压力传感器和MCS密封表压型压力传感器也能够轻松实现设计并且进行使用。

可选的，所述弹性体外壳以及MCS压力传感器本体的截面形状为圆形。