[发明专利]一种MCS绝压和密封表压传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种MCS绝压和密封表压传感器，其特征在于，包括MCS压力传感器本体(1)以及MCS背压腔壳体(2)，所述MCS压力传感器本体(1)包括弹性体外壳(11)以及感压膜片(12)，所述弹性体外壳(11)的两端开口设置，所述感压膜片(12)覆设在弹性体外壳(11)一端的端部开口上，所述感压膜片(12)上刻蚀有惠斯通电桥；所述感压膜片(12)位于惠斯通电桥上的位置设置有引线(3)；所述MCS背压腔壳体(2)上留有供弹性体外壳(11)插入的配合腔(21)，所述MCS背压腔壳体(2)的端部设置有孔型可伐针(4)，所述引线(3)穿过孔型可伐针(4)后二者之间通过焊接密封；所述MCS背压腔壳体(2)的端部还开设有通气孔(22)，所述通气孔(22)在MCS背压腔壳体(2)内抽真空或加注惰性气体后焊接密封。

2.根据权利要求1所述的一种MCS绝压和密封表压传感器，其特征在于，所述弹性体外壳(11)以及MCS压力传感器本体(1)的截面形状为圆形。

3.根据权利要求2所述的一种MCS绝压和密封表压传感器，其特征在于，所述弹性体外壳(11)的侧壁上留有贴合槽(111)，所述弹性体外壳(11)插入到所述MCS背压腔壳体(2)的配合腔(21)内后，所述贴合槽(111)与所述MCS背压腔壳体(2)的内壁贴合，且所述弹性体外壳(11)的外壁与所述MCS背压腔壳体(2)的外壁处于同一圆周面。

4.根据权利要求1所述的一种MCS绝压和密封表压传感器，其特征在于，所述MCS背压腔壳体(2)的端部开设有针孔(23)，所述孔型可伐针(4)与所述针孔(23)插接配合，且所述孔型可伐针(4)与所述针孔(23)之间的缝隙处填充有玻璃粉。

5.根据权利要求1所述的一种MCS绝压和密封表压传感器，其特征在于，所述感压膜片(12)为箔材料制成。

6.根据权利要求1所述的一种MCS绝压和密封表压传感器，其特征在于，所述弹性体外壳(11)为热处理钢板制成。

7.根据权利要求1所述的一种MCS绝压和密封表压传感器，其特征在于，所述感压膜片(12)通过粘接胶连接在弹性体外壳(11)上。

8.一种基于权利要求1-7任意一项MCS绝压和密封表压传感器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：将弹性体钢板以及一些箔材料进行热处理后，将弹性体钢板以及箔材料通过涂覆粘接胶粘接在一起，随即在弹性体钢板上没有粘接箔材料的面上加工多个大小相同的盲孔，把每一个盲孔底部对应面上的箔材料刻蚀成惠斯通电桥；

步骤二：以盲孔为单位将弹性体钢板分隔成一个一个的MCS压力传感器毛坯，每个MCS压力传感器毛坯的大小相同；

步骤三：在每个MCS压力传感器毛坯上的惠斯通电桥处焊接引线(3)，每个惠斯通电桥上焊接四根引线(3)，从而构成MCS压力传感器本体(1)；

步骤四：加工MCS背压腔壳体(2)，MCS背压腔壳体(2)的一端开口、另一端封口设置，在MCS背压腔壳体(2)的端壁上加工针孔(23)，针孔(23)的数量与引线(3)的数量相同，在针孔(23)内插入孔型可伐针(4)，孔型可伐针(4)的位置与引线(3)的位置相对应；

步骤五：再在MCS背压腔壳体(2)的端壁上的中心位置加工通气孔(22)，通气孔(22)内同样地插入孔型可伐针(4)；

步骤六：在通气孔(22)与孔型可伐针(4)之间的缝隙处、孔型可伐针(4)和MCS背压腔壳体(2)的针孔(23)的缝隙处均填充上玻璃粉，并将MCS背压腔壳体(2)放置于加热设备中，使玻璃粉熔化，随即再冷却静置后直至玻璃粉固化，完成MCS背压腔壳体(2)的制作；

步骤七：将MCS压力传感器本体(1)的四根引线(3)从MCS背压腔壳体(2)的四个孔型可伐针(4)中穿过后，把MCS压力传感器本体(1)和MCS背压腔壳体(2)焊接在一起，即将弹性体外壳(11)贴合在MCS背压腔壳体(2)上的贴合槽(111)的位置进行焊接；

步骤八：将MCS压力传感器本体(1)和MCS背压腔壳体(2)的焊接组合件放入真空箱中，抽真空后把MCS背压腔壳体(2)上的通气孔(22)焊接上，即让MCS背压腔壳体(2)内的背压腔始终保持真空状态，从而形成MCS绝压型压力传感器；

步骤九：将MCS压力传感器本体(1)和MCS背压腔壳体(2)的焊接组合件放入真空箱中，向真空箱中加注一个标准大气压力(101.325kPa)的氩气后，把MCS背压腔壳体(2)上的通气孔(22)焊接上，即让MCS背压腔壳体(2)内的背压腔中始终保持一个标准大气压的压力，从而形成MCS密封表压型压力传感器。