[发明专利]一种交联剂及其制备方法、光刻胶在审
| 申请号： | 202211695259.3 | 申请日： | 2022-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN115974880A | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 王璨;孙嘉;李冰;鲁代仁;王文芳;董栋;张宁 | 申请（专利权）人： | 上海彤程电子材料有限公司;北京彤程创展科技有限公司;北京科华微电子材料有限公司;彤程新材料集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C07D487/04 | 分类号： | C07D487/04;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 吕露 |
| 地址： | 201507 上海市奉贤*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种交联剂及其制备方法、光刻胶，属于光刻技术领域。光刻胶包括溶质和第一溶剂，其中，溶质包括70wt％～95wt％碱溶性树脂、1wt％～30wt％光致产酸剂、0.1wt％～15wt％酸淬灭剂和5wt％～20wt％上述的交联剂，第一溶剂的质量为碱溶性树脂的质量的1倍～10倍。本申请的交联剂能够用于添加到光刻胶中，并使得光刻胶的基体树脂的交联反应更加均匀，减少或避免局部分子量太大引起的形貌缺陷，得到的图形线条边缘更加垂直，且窗口更大。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 交联剂 及其 制备 方法 光刻 | ||
【主权项】：
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