[发明专利]叠置误差的校正方法及半导体元件的制备方法在审
| 申请号： | 202211665104.5 | 申请日： | 2022-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN116400568A | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 马士元 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开提供一种叠置误差的校正方法。该校正方法包括基于一第一叠置标记产生一第一叠置误差，其中该第一叠置误差指示该第一叠置标记的一下部图案和一上部图案之间的一错位，以及，因应于检测该第一叠置误差的异常，基于一第二叠置标记产生一第二叠置误差，并根据该第二叠置误差确定该第一叠置误差中的异常是否由该下部图案和该上部图案的该错位引起。 | ||
| 搜索关键词： | 误差 校正 方法 半导体 元件 制备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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