[发明专利]一种基于WCT120的蓝膜片方阻测试方法在审
| 申请号： | 202211647772.5 | 申请日： | 2022-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN115877082A | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 张双玉;李蕊怡;杨阳;陈如龙 | 申请（专利权）人： | 江苏润阳世纪光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01N27/04;H02S50/10 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 马晓敏 |
| 地址： | 224000 江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明提供一种基于WCT120的蓝膜片方阻测试方法，首先确定待监控蓝膜片的原硅电阻率和厚度，所述蓝膜片包括扩散层和硅基底层，厚度指的是硅基底层的厚度；在丝网印刷前对蓝膜片进行取样，采用WCT120获取取样蓝膜片的整体电阻R |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 wct120 膜片 测试 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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