[发明专利]溅射环的清洗装夹工件和清洗装置在审
| 申请号： | 202211637003.7 | 申请日： | 2022-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN115870298A | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;方友华 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B65G35/00 |
| 代理公司： | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人： | 姚宇吉 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种溅射环的清洗装夹工件和清洗装置，其中所述溅射环的清洗装夹工件，包括：支撑架，所述支撑架包括两跟竖杆和与所述两根竖杆顶部固定连接的横杆；位于所述两个竖杆之间的第一承重杆和第二承重杆，所述第一承重杆和第二承重杆的两端固定在所述两个竖杆上，且第二承重杆位于第一承重杆上方；固定在所述第一承重杆上的底部夹块；固定在所述第二承重杆上的第一侧部夹块和第二侧部夹块，第一侧部夹块和第二侧部夹块位于所述底部夹块的上方两侧，所述底部夹块、第一侧部夹块和第二侧部夹块用于在装夹溅射环时分别从所述溅射环的底部和两侧夹住所述溅射环。采用本申请的清洗装夹工件装夹待清洗的溅射环，提高了清洗效率和清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 清洗 工件 装置 | ||
【主权项】：
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