[发明专利]溅射环的清洗装夹工件和清洗装置

权利要求书

1.一种溅射环的清洗装夹工件，其特征在于，包括：

支撑架，所述支撑架包括两跟竖杆和与所述两根竖杆顶部固定连接的横杆；

位于所述两个竖杆之间的第一承重杆和第二承重杆，所述第一承重杆和第二承重杆的两端固定在所述两个竖杆上，且第二承重杆位于第一承重杆上方；

固定在所述第一承重杆上的底部夹块；

固定在所述第二承重杆上的第一侧部夹块和第二侧部夹块，第一侧部夹块和第二侧部夹块位于所述底部夹块的上方两侧，所述底部夹块、第一侧部夹块和第二侧部夹块用于在装夹溅射环时分别从所述溅射环的底部和两侧夹住所述溅射环。

2.如权利要求1所述的溅射环的清洗装夹工件，其特征在于，所述底部夹块中具有一个或两个第一卡槽，所述第一卡槽的开口朝向向上。

3.如权利要求2所述的溅射环的清洗装夹工件，其特征在于，所述第一承重杆包括两根并列的第一子承重杆，所述两根第一子承重杆穿过底部夹块的底部部分将所述底部夹块固定。

4.如权利要求3所述的溅射环的清洗装夹工件，其特征在于，所述底部夹块具有两个第一卡槽时，所述两个第一卡槽对称的位于所述底部夹块中，且所述两个第一卡槽分别位于所述第一承重杆的两侧。

5.如权利要求1所述的溅射环的清洗装夹工件，其特征在于，所述第一侧部夹块中具有一个或两个第二卡槽，所述第二侧部夹块中具有一个或两个第三卡槽，所述第二卡槽和第三卡槽的开口相向设置。

6.如权利要求5所述的溅射环的清洗装夹工件，其特征在于，所述第二承重杆包括两根并列的第二子承重杆，所述两根第二子承重杆穿过所述第一侧部夹块和第二侧部夹块将所述第一侧部夹块和第二侧部夹块固定。

7.如权利要求6所述的溅射环的清洗装夹工件，其特征在于，所述第一侧部夹块中具有两个第二卡槽，所述两个第二卡槽对称位于所述第一侧部夹块中，且所述两个第二卡槽分别位于所述第二承重杆的两侧；所述第二侧部夹块中具有两个第三卡槽，所述两个第三卡槽对称位于所述第二侧部夹块中，且所述两个第三卡槽分别位于所述第二承重杆的两侧。

8.如权利要求1所述的溅射环的清洗装夹工件，其特征在于，所述底部夹块在所述第一承重杆上的固定位置可调整，所述第一侧部夹块和所述第二侧部夹块在所述第二承重杆上的固定位置可调整。

9.如权利要求1所述的溅射环的清洗装夹工件，其特征在于，所述支撑架、所述第一承重杆和所述第二承重杆的材料为金属，所述底部夹块、所述第一侧部夹块和所述第二侧部夹块的材料为塑料。

10.一种清洗装置，其特征在于，包括：

如权利要求1-9任一项所示的清洗装夹工件，所述清洗装夹工件上装夹有待清洗的溅射环；

清洗腔，用于对置于清洗腔中的待清洗的溅射环进行清洗；

传送装置，用于装载所述清洗装夹工件，并将所述清洗装夹工件传送到所述清洗腔中。