[发明专利]一种提升太阳能电池转换效率的SE工艺

摘要

本发明提供一种提升太阳能电池转换效率的SE工艺，包括：对制绒的硅基体进行磷扩散处理，其氧化后形成磷硅玻璃层；对应栅线波动区域在所述磷硅玻璃层上进行激光光斑照射，能够激活所述光斑处的所述磷硅玻璃层中的磷离子，形成重掺；其中，所述光斑交错设置；去除所述磷硅玻璃层，掺杂完成。本发明的有益效果是在保证副栅套印宽度的前提下减小重掺区域的面积，将SE激光光斑由光斑相切整齐排列，改成交错排列且不一定相切的光斑，在保证栅线能够落在重掺区域的前提下，减少重掺面积1‑25％。