[发明专利]一种提升太阳能电池转换效率的SE工艺

权利要求书

1.一种提升太阳能电池转换效率的SE工艺，包括：

对制绒后的硅基体进行磷扩散处理，形成磷硅玻璃层；

对应栅线波动区域在所述磷硅玻璃层上进行激光光斑照射，能够激活所述光斑处的所述磷硅玻璃层中的磷离子，形成重掺；其中，

所述光斑交错设置；

去除所述磷硅玻璃层，掺杂完成。

2.根据权利要求1所述的一种提升太阳能电池转换效率的SE工艺，其特征在于：相邻所述光斑之间抵接或搭接设置。

3.根据权利要求1或2所述的一种提升太阳能电池转换效率的SE工艺，其特征在于：所述光斑的宽度设置为X1，所述栅线波动区域的宽度设置为X2，

4.根据权利要求3所述的一种提升太阳能电池转换效率的SE工艺，其特征在于：栅线印刷区域宽度设置为X3，2X1≥X2+X3。

5.根据权利要求1所述的一种提升太阳能电池转换效率的SE工艺，其特征在于：所述激光光斑的能量为0.5-2W。

6.根据权利要求1所述的一种提升太阳能电池转换效率的SE工艺，其特征在于：掺杂后的所述硅基体的方阻值为30-50Ω/sqr。

7.根据权利要求1所述的一种提升太阳能电池转换效率的SE工艺，其特征在于：使用HF去除所述磷硅玻璃层。

8.根据权利要求7所述的一种提升太阳能电池转换效率的SE工艺，其特征在于：所述HF的浓度为5-15％。