[发明专利]光学检测系统、其控制方法、电子设备及存储介质在审
| 申请号： | 202211592991.8 | 申请日： | 2022-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN115656210A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 苏州高视半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京维昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11804 | 代理人： | 李波 |
| 地址： | 215153 江苏省苏州市高新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请是关于一种光学检测系统、其控制方法、电子设备及存储介质。该光学检测系统包括：照明光源、光线传输通道、检测成像设备以及用于放置待测半导体样品的载物台；光线传输通道靠近载物台的一端设有显微物镜组；照明光源与光线传输通道的连通位置处设有分光镜；分光镜和显微物镜组之间设有遮光组件，遮光组件用于在暗场检测时启动并遮挡照明光源的光线以形成环形照明光；检测成像设备设置于光线传输通道远离载物台的一端，检测成像设备用于生成待测半导体样品的表面检测图像。本申请提供的方案，能够满足光学检测过程中明暗场高速切换检测的需求，提升暗场检测时的表面检测图像中的缺陷部分和背景部分的对比度，提升暗场检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 检测 系统 控制 方法 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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