[发明专利]半导体结构、半导体结构的制造方法及芯片在审

专利信息
申请号: 202211582449.4 申请日: 2022-12-09
公开(公告)号: CN116031260A 公开(公告)日: 2023-04-28
发明(设计)人: 马国良;李重阳;侯晓宇 申请(专利权)人: 海光信息技术股份有限公司
主分类号: H01L27/092 分类号: H01L27/092;H01L23/60;H01L23/64;H01L21/8238
代理公司: 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 代理人: 张仲波
地址: 300000 天津市滨海新区天津华苑*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明实施例公开的半导体结构、半导体结构的制造方法及芯片,涉及半导体技术领域,便于高效、低成本解决天线效应违例的问题。所述半导体结构,包括:半导体衬底;第一MOS管,生长于所述有源区中,包括:源极、漏极及栅极,所述源极和漏极之间设有隔离层,所述隔离层为所述场区的一部分,所述栅极位于所述隔离层的上方,所述源极、漏极及隔离层形成MOM电容;所述源极和漏极分别连接至半导体衬底上,所述栅极连接至上方的电源网络上;物理单元,生长于所述有源区中,且与所述第一MOS管隔离设置,所述物理单元的一端与所述电源网络连接,所述物理单元的另一端连接至所述半导体衬底。本发明适用于芯片设计及制造场景中。
搜索关键词: 半导体 结构 制造 方法 芯片
【主权项】:
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